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수분차단막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015122495
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 층간 박리 현상이 일어나지 않고, 수분차단성이 우수한 수분차단막 및 그 제조방법이 제공된다. 기재, 상기 기재 위에 형성된 경사 조성 계면 구조를 포함하는 유무기 하이브리드층, 및 상기 유무기 하이브리드층 위에 형성된 무기 장벽층을 포함한다. 상기 유무기 하이브리드층과 상기 무기 장벽층 사이에 버퍼층을 더 포함할 수 있다.
Int. CL B32B 9/00 (2006.01) B32B 27/06 (2006.01)
CPC C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01) C08J 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020130081789 (2013.07.11)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1472917-0000 (2014.12.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.11)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽순종 대한민국 서울특별시 성북구
2 전재호 대한민국 경기 용인시 수지구
3 이명숙 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0626133-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.05.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0045342-27
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0440646-05
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0784510-26
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.08.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0784511-72
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0819284-58
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재; 상기 기재 위에 형성되고, 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층; 및 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층 위에 형성된 무기 장벽층을 포함하는 수분 차단막으로서, 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층은 -O-Si-O-의 연결부를 포함하는 망상 구조를 가지고, 상기 망상 구조는 규소, 산소, 수소, 탄소 및 기타 원소를 함유하고, 상기 기타 원소는 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 전이금속, 전이후 금속, 준금속, 붕소 및 인 중에서 선택된 1종 이상의 원소이고, 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층은 상기 기재에 가까운 쪽으로부터 유무기 부분층; 경사조성 부분층; 및 무기 부분층으로 이루어지고,상기 무기 장벽층은 금속산화물, 금속질화물 및 금속질산화물 중에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함하는 수분차단막
2 2
제1항에 있어서,상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층과 상기 무기 장벽층 사이에 버퍼층을 더 포함하는 수분차단막
3 3
제2항에 있어서,상기 무기 장벽층 위에 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층을 더 포함하고, 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층은 -O-Si-O-의 연결부를 포함하는 망상 구조를 가지고, 상기 망상 구조는 규소, 산소, 수소, 탄소 및 기타 원소를 함유하고, 상기 기타 원소는 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 전이금속, 전이후 금속, 준금속, 붕소 및 인 중에서 선택된 1종 이상의 원소인 수분차단막
4 4
제1항에 있어서,수분투과도가 37
5 5
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층은 수분투과도가 37
6 6
제1항에 있어서,상기 기재는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 이축연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(BOPET; Biaxially-oriented polyethylene terephthalate), 폴리에테르설폰, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아릴레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 에폭시 수지, 불포화폴리에스테르, 저밀도 폴리에틸렌(LDPE), 중밀도 폴리에틸렌(MDPE), 고밀도 폴리에틸렌(HDPE), 선형 저밀도 폴리에틸렌(LLDPE; Linear Low-Density Polyethylene), 이축연신 폴리프로필렌(BOPP; Bi-Oriented Polypropylene), 연신 폴리프로필렌(OPP; Oriented Polypropylene), 무연신 폴리프로필렌(CPP; Cast Polypropylene), 이축연신 폴리아마이드(BOPA; Bi-Oriented Polyamide), 시클로올레핀 공중합체 및 섬유강화플라스틱(Fiber Reinforced Plastics) 중에서 선택된 1종 이상인 수분차단막
7 7
제1항에 있어서,상기 무기 장벽층은 규소산화물, 규소 질화물, 규소질산화물, 알루미늄산화물, 알루미늄질화물, 티타늄산화물, 티타늄질화물 및 지르코늄산화물 중에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함하는 수분차단막
8 8
제2항에 있어서,상기 버퍼층은 -O-Si-O-의 연결부를 포함하는 망상 구조를 가지고, 상기 망상 구조는 규소, 산소, 수소 및 탄소 원자를 포함하는 유무기 하이브리드층인 수분차단막
9 9
제1항에 있어서,상기 기타 원소는 상기 망상 구조내 틈새자리에 산화물 형태로 존재하거나 망상 구조의 골격을 이루는 수분차단막
10 10
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층은 상기 기타 원소 대 상기 망상 구조내 규소 원자의 원자수 비가 1:20 내지 20:1인 수분차단막
11 11
삭제
12 12
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층의 두께는 0
13 13
하기 화학식 1의 유기알콕시실란 화합물; 및 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 전이금속, 전이후 금속, 준금속, 붕소 및 인 중에서 선택된 적어도 1종 이상의 기타 원소의 산화물 전구체를 포함하는 반응물을 졸-겔 반응시켜 유무기 하이브리드 용액을 제조하는 단계;상기 유무기 하이브리드 용액을 기재 표면에 코팅한 다음 경화하여 유무기 하이브리드층을 형성하는 단계;상기 유무기 하이브리드층 표면을 반응성 기체의 플라즈마로 처리하여 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층을 형성하는 단계; 및상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층 위에 금속산화물, 금속질화물 및 금속질산화물중에서 선택된 1종 이상의 화합물을 스퍼터링하여 무기 장벽층을 형성하는 단계;를 포함하는 제1항에 따른 수분차단막의 제조방법:[화학식 1]R1xSi(OR2)(4-x)상기 식에서 R1은 탄소수 1 내지 20의 알킬기, 탄소수 6 내지 20의 아릴기, 비닐기, 아크릴기, 메타크릴기 또는 에폭시기이고,R2는 탄소수 1 내지 20의 알킬기 또는 탄소수 6 내지 20의 아릴기이고,X는 0 내지 3의 정수이고, R1 및 R2가 알킬기인 경우, 상기 알킬기의 수소는 불소로 치환될 수 있다
14 14
제13항에 있어서,상기 화학식 1의 유기알콕시실란 화합물은 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 에틸트리메톡시실란, 에틸트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리에톡시시란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리에톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 디에틸디메톡시실란, 디에틸디에톡시실란, 테트라에틸실리케이트, 테트라메틸실리케이트, 테트라이소프로폭시실리케이트, 및 테트라부톡시실리케이트중에서 선택된 1종 이상인 수분차단막의 제조방법
15 15
제13항에 있어서,상기 반응성 기체가 산소, 아산화질소, 질소, 암모니아, 수소 및 수증기중 1종 이상 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체인 수분차단막의 제조방법
16 16
제13항에 있어서,상기 기타 원소의 산화물 전구체는 Li, Na, K, Rb, Cs, Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Mo, W, Te, Re, Ni, Zn, Al, Ga, In, Tl, Sn, B 및 P 중에서 선택하는 적어도 하나의 기타 원소를 포함하고, 이 기타 원소와 산소의 산화물을 형성할 수 있는 전구체인 수분차단막의 제조방법
17 17
제13항에 있어서,상기 무기 장벽층을 형성하는 단계 이전에, 상기 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층 위에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 수분차단막의 제조방법
18 18
제17항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 화학식 1의 유기알콕시실란 화합물을 포함하는 반응물을 졸-겔 반응시켜 유무기 하이브리드 용액을 제조하는 단계; 및상기 유무기 하이브리드 용액을 상기 플라즈마 처리된 유무기 하이브리드층 표면에 코팅한 다음 경화하는 단계를 포함하는 수분차단막의 제조방법
19 19
제17항에 있어서,상기 무기 장벽층을 형성하는 단계 이후에, 경사 조성 계면 구조를 갖는 유무기 하이브리드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 수분차단막의 제조방법
20 20
제13항에 있어서, 상기 플라즈마 처리는 반응성 기체를 투입하여 10 내지 500 mtorr로 압력을 유지하면서 0
21 21
제1항 내지 제4항 및 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 수분차단막을 포함하는 전자 소자
22 22
제1항 내지 제4항 및 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 수분차단막을 포함하는 포장 재료
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.