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디클로로메탄 측정용 주석산화물 센서에 있어서,기판과;상기 기판의 상면에 형성된 전극과;상기 전극을 커버하며, 주석산화물(SnO2)에 몰리브덴산화물(MoO3) 및 니켈산화물을 첨가하여 만들어진 감지물질로 형성된 감지막과;상기 기판의 하면에 형성된 히터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서
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제1항에 있어서,상기 감지물질의 전체중량 대비, 상기 몰리브덴산화물은 2 내지 7 중량% 범위이며, 니켈산화물은 2 내지 5 중량% 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 알루미나 기판이고, 상기 전극은 한쌍의 백금 전극으로 만들어지며, 상기 히터는 한쌍의 전극을 가지는 백금으로 만들어진 저항체인 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서
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디클로로메탄 측정용 주석산화물 센서의 제조방법에 있어서,기판의 상면에 전극을 형성하는 단계와;상기 전극을 커버하며, 주석산화물(SnO2)에 몰리브덴산화물(MoO2) 및 니켈산화물을 첨가하여 감지막을 형성하고, 상기 감지막의 물리적 안정을 위해 일정 온도에서 소결하는 단계와;상기 기판의 하면에 히터를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 감지막 형성 단계에서, 전체 중량 대비, 상기 몰리브덴산화물은 2 내지 7 중량% 범위이며, 니켈산화물은 2 내지 5 중량% 범위에서 첨가되는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 니켈산화물의 첨가는 함침법을 이용하는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 몰리브덴 산화물의 첨가는 물리적 혼합법 또는 함침법을 이용하는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 감지막은 스크린 인쇄법 또는 플라즈막 증착 방법 중 어느 하나의 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 주석산화물 센서의 제조방법
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