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휘발성 유기화합물 가스에 의해 전하 전달이 발생하는 감지막이 반도체 전극의 하나 이상에 구비되어 있는 반도체 소자를 포함하는 감지부; 및 상기 반도체 소자내 전류 변화를 통해 상기 휘발성 유기화합물 가스를 감지하는 측정부를 포함하고, 상기 감지부의 반도체 소자는 상기 감지막이 게이트 전극에 구비되어 있는 Gated-LBJT(gated lateral bipolar junction transistor)인 것을 특징으로 하는 휘발성 유기 화합물 가스 감지장치
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제 1항에 있어서,상기 감지막은 용매변색성 색소(Solvatochromic dye)를 상기 반도체 소자의 상면에 코팅하여 형성되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물 가스 감지장치
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제 3항에 있어서,상기 Gated-LBJT 소자는 반도체 기판내에 제공된 컬렉터 영역 및 N형 웰영역;상기 N형 웰영역 내에서 채널영역을 사이에 두고, 서로 이격되어 있는 에미터 영역 및 컬렉터 영역; 상기 컬렉터 영역 과 일정간격을 두고 이격되어 있는 베이스 영역;상기 에미터 영역 과 상기 컬렉터 영역 사이의 상기 채널영역 위를 가로질러 형성되는 게이트 전극;상기 게이트 전극 과 상기 채널영역 사이에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 전극상에 형성된 금속층; 및상기 금속층 상에 형성된 절연층을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물 가스 감지장치
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제 1항에 있어서,상기 감지부에 소정의 전류 와 전압을 공급하는 전원공급부;상기 감지부가 내부에 위치되고, 측정대상 가스가 내부에 유입되며, 내부를 암실로 형성하는 가스챔버; 상기 측정대상 가스를 저장하는 가스저장부; 및상기 가스챔버 와 상기 가스저장부에 연결되며, 상기 가스 챔버에 상기 측정대상 가스의 주입량을 조절하는 유량조절부; 및 상기 측정부의 측정값을 표시하는 표시부를 포함하는 휘발성 유기화합물 가스 감지장치
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제1항, 제3항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 기재된 상기 휘발성 유기화합물 가스 감지장치를 이용하여 공기중에서 측정한 측정전류값을 기준전류값으로 저장하는 단계;상기 휘발성 유기 화합물 가스감지장치로 측정대상가스에서의 전류값을 측정하는 단계; 및상기 측정대상가스에서의 측정전류값과 상기 기준전류값을 비교하여 상기 휘발성 유기화합물 가스의 유무를 감지하는 단계를 포함하는 휘발성 유기화합물 가스 감지방법
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제 6항에 있어서,휘발성 유기화합물 가스의 유무를 감지하는 단계는측정부가 기준 전류값 및 상기 측정대상가스에서의 측정전류값을 비교하여, 그 변화를 확인함으로써, 휘발성 유기화합물 가스의 유무를 감지하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물 가스 감지방법
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제 6 항에 있어서, 측정부가 휘발성 유기화합물 가스의 존재가 감지된 경우, 상기 기준전류값에 대해 상기 측정대상가스에서의 측정전류값의 변화정도를 확인하여 휘발성 유기화합물 가스의 종류 와 농도를 측정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물 가스 감지방법
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제 8항에 있어서,상기 측정부에서 측정된 상기 측정대상가스의 측정전류값 및 농도를 표시부에 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물 가스 감지방법
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