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진동부가를 통한 패턴제작방법

  • 기술번호 : KST2015113051
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이 발명은 소프트 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료를 충진하는 단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 단계, 및 경화된 고상의 패턴을 소프트 몰드와 이형시키는 단계를 포함하며, 소프트 몰드의 이형단계에서는 소프트 몰드의 표면에 상하방향으로 진동을 부가하여 소프트 몰드와 고상의 패턴을 서로 분리시킨 후 수직이형시키는 것을 특징으로 한다. 이 발명은 진동부가 장치를 이용해 몰드와 패턴 재료와의 화학적 결합을 쉽게 분리할 수 있을 뿐만 아니라 마찰 특성을 개선할 수 있을 뿐만 아니라, 진동부가 장치의 상하운동에 의한 압하량 제어를 통해 패턴과의 물리적인 간섭을 최소화하여 나노/마이크로 크기의 고종횡비의 패턴을 용이하게 제작할 수 있다. 패턴, 진동, 소프트 몰드, 진공 척, 진동부가 유닛
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080020222 (2008.03.04)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0095107 (2009.09.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양동열 대한민국 대전 유성구
2 류승민 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0160247-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018610-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0135211-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0330408-34
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0330409-80
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0394146-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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소프트 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료를 충진하는 단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 단계, 및 경화된 고상의 패턴을 상기 소프트 몰드와 이형시키는 단계를 포함하는 패턴제작방법에 있어서, 상기 소프트 몰드의 이형단계에서는 상기 소프트 몰드의 표면에 상하방향으로 진동을 부가하여 상기 소프트 몰드와 고상의 패턴을 서로 분리시킨 후 수직이형시키는 것을 특징으로 하는 진동부가를 통한 나노/마이크로 크기의 고종횡비를 갖는 패턴제작방법
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청구항 1에 있어서, 상기 소프트 몰드의 이형단계에서는 상기 소프트 몰드와 고상의 패턴을 서로 분리시킨 후 상기 소프트 몰드의 표면을 흡착한 상태로 상부방향으로 이동시켜 수직이형시키는 것을 특징으로 하는 진동부가를 통한 나노/마이크로 크기의 고종횡비를 갖는 패턴제작방법
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청구항 2에 있어서, 상기 소프트 몰드의 이형단계에서는 상기 소프트 몰드의 표면을 흡착한 상태에서 상하방향으로 진동을 부가하고 상부방향으로 이동시키는 진동부가 장치를 이용해 수직이형시키는 것을 특징으로 하는 진동부가를 통한 나노/마이크로 크기의 고종횡비를 갖는 패턴제작방법
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청구항 3에 있어서, 상기 소프트 몰드의 이형단계에서는 대면적의 패턴제작을 위해 상기 진동부가 장치를 다열로 세트 배열하여 수직이형시키는 것을 특징으로 하는 진동부가를 통한 나노/마이크로 크기의 고종횡비를 갖는 패턴제작방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.