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금속패턴 형성방법

  • 기술번호 : KST2015114768
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속패턴 형성방법에서, 기판 상에 금속 잉크층을 형성한다. 상기 금속 잉크층이 형성된 상기 기판을 가열하고, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성하고, 상기 기판의 상부에서 조사된 레이저가 상기 보호층을 통과하여 상기 금속 잉크층을 패터닝하며, 상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하여 금속 패턴을 잔류시킨다. 이와 같이, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성한 후, 레이저 패터닝 공정을 수행하므로, 상기 금속 잉크층이 공기 중의 산소, 수분 또는 외부의 광과 직접 접촉하는 것이 방지되어, 상기 레이저 패터닝을 통한 금속 패턴의 형성시 균일성이 향상될 수 있다.
Int. CL B23K 26/36 (2014.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC B23K 26/362(2013.01) B23K 26/362(2013.01)
출원번호/일자 1020120113607 (2012.10.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1394968-0000 (2014.05.08)
공개번호/일자 10-2014-0047763 (2014.04.23) 문서열기
공고번호/일자 (20140515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.12)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 윤진호 대한민국 서울특별시 강동구
3 강봉철 대한민국 대전광역시 유성구
4 박정환 대한민국 대전광역시 유성구
5 손석우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0830814-45
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-2013-0072098-79
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0829259-61
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0091973-86
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0091971-95
8 등록결정서
Decision to grant
2014.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0302767-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 금속 잉크층을 형성하는 단계;상기 금속 잉크층이 형성된 상기 기판을 가열하는 단계; 상기 금속 잉크층 상에 보호 코팅층을 형성하고,상기 보호 코팅층 상에 고반사층을 형성하여 보호층을 형성하는 단계;상기 기판의 상부에서 조사된 레이저가 상기 보호층을 통과하여 상기 금속 잉크층을 패터닝하는 단계; 및상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하여 금속 패턴을 잔류시키는 단계를 포함하고,상기 보호 코팅층은 가시광선 및 적외선에서의 투과도가 우수하고, 유기용매나 물에 의해 세척이 잘 되며, 외부의 산소 및 수분을 차단하고, 자외선을 흡수하는 성질을 가지며 L-프롤린을 아미노산 유도체로 가진 시스테인(cysteine),히스티딘(histidine), 타이로신(tirosine), 페닐알라닌(phenylalanine), 트립토판(tryptophan)을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속 잉크층은 유기금속화합물(organometallic) 잉크 또는 금속 나노입자(metallic nano-particle) 잉크를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 기판을 가열하는 단계에서, 상기 금속 잉크층은 반고상 상태로 경화되며, 상기 금속 잉크층에 포함된 유기물은 증발되는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 기판을 가열하는 단계에서,상기 기판을 가열램프로 가열하는 방법, 상기 기판을 핫플레이트(hot plate)로 가열하는 방법, 상기 기판을 컨벡션(convection) 오븐으로 가열하는 방법 중 어느 하나의 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 보호층은 보호 코팅층(protective coating layer) 또는 고반사층(high-reflectance film)인 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 금속 잉크층을 패터닝하는 단계는, 산소, 수분 또는 광이 차단된 챔버(chamber) 내에서 진행되는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하는 단계는, 상기 금속 잉크층 및 상기 보호층이 형성된 기판을, 세척액에 담그는 단계, 초음파로 세척하는 단계, 세척액을 분사하는 단계 중 어느 하나의 단계로 처리하는 것을 특징으로 하는 금속패턴 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.