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수직 나노구조를 포함하는 광학 기기를 제조하는 방법에 있어서, 기판(100)을 준비하는 제 1 단계; 상기 기판(100) 상에 원하는 수직 나노구조(300)를 패터닝 하는 제 2 단계;상기 패터닝된 기판 상부(110)에 촉매 금속을 최종적으로 완성하고자 하는 수직 나노구조(300)의 역상 패턴으로 증착하는 제 3 단계; 및금속 촉매 식각 방법을 이용하여 상기 촉매 금속이 증착된 기판(100)에 수직 나노구조(300)를 제작하는 제 4 단계를 포함하며, 상기 기판(100) 상에 원하는 수직 나노구조(300)를 패터닝 하는 제 2 단계에 선행하여 렌즈에 적용될 입사광의 파장과 위상의 변화를 기초로하여 서브웨이브렝스그래이팅(Subwavelength grating)을 구현하기 위한 패턴의 폭, 간격, 높이를 전산모사를 통해 산출해내는 단계를 포함하고, 상기 제 3 단계에서, 상기 촉매 금속은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 구리(Cu), 납(Pb) 중 어느 하나, 둘 이상의 조합을 포함하며,상기 제 4 단계에서,식각용액은 불산(HF)과 과산화수소(H2O2)의 혼합 비율, 불산(HF)과 과산화수소(H2O2)의 혼합 농도, 반응 온도, 식각 시간 중 어느 하나 이상을 변화시켜, 상기 수직 나노구조(300)의 높이 및 배향을 조절하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 광학 기기 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 단계에서상기 기판(100)은 단결정 반도체 기판(100), III-V 화합물 반도체 기판(100), SOI(silicon on insulator) 기판(100), 금속 기판(100), 유리 기판(100), 고분자 기판(100) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 광학 기기 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 단계와 제 2 단계 사이에, 황산(H2SO4)과 과산화수소(H2O2) 혼합 용액, 불산(HF) 희석 용액 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 상기 기판(100)의 불순물을 제거하는 세정 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 광학 기기 제조 방법
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청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 방법으로 렌즈를 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 2 단계에서,상기 수직 나노구조(300)가 비주기적인 패턴을 갖도록 리소그라피(Lithography) 방법을 이용하여 패터닝 하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 렌즈 제조 방법
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청구항 6에 있어서, 상기 제 4 단계 이후에, 상기 기판(100)에 잔존하는 촉매 금속을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 렌즈 제조 방법
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청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 방법으로 필터를 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 2 단계에서, 상기 수직 나노구조(300)가 주기적인 패턴을 갖도록 셀프 어셈블리 템플릿 (Self-assembly template) 방법을 이용하여 패터닝 하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 필터 제조 방법
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청구항 8에 있어서, 상기 셀프 어셈블리 템플릿 방법은 AAO(Anodic Aluminum Oxide) 템플릿, Block Copolmyer 템플릿 중 적어도 어느 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 필터 제조 방법
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청구항 8에 있어서, 상기 제 4 단계 이후에, 상기 기판(100)에 잔존하는 촉매 금속을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 필터 제조 방법
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청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 방법으로 거울을 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 2 단계에서, 상기 수직 나노구조(300)가 비주기적 패턴, 주기적인 패턴 중 어느 하나 이상의 패턴을 갖도록 리소그라피(Lithography) 방법, 셀프 어셈블리 템플릿 (Self-assembly template) 방법 중 적어도 어느 하나 이상 이용하여 패터닝 하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 거울 제조 방법
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청구항 11에 있어서, 상기 셀프 어셈블리 템플릿 방법은 AAO(Anodic Aluminum Oxide) 템플릿, Block Copolmyer 템플릿 중 어느 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 나노구조를 포함하는 거울 제조 방법
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