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1
빛을 조사하는 광원;
상기 빛의 조사여부에 따라 부분적으로 도통되는 광전도성층;
상기 광전도성층을 통해 인가되는 전원에 의해 미세입자의 구동을 위한 전위차를 형성하며 단일기판 상에 서로 이격되어 위치하는 두 개 이상의 전극;을 포함하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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청구항 1에 있어서,
상기 전극은 일정 패턴을 가지고 형성되고, 상기 광전도성층은 상기 전극 상에 증착되되, 상기 일정 패턴을 제외한 영역에는 증착되지 않는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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청구항 1에 있어서,
상기 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치는
상기 광원으로부터 조사되는 빛을 집중시켜 상기 광전도성층으로 입사시키기 위한 집광부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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4 |
4
청구항 1에 있어서,
상기 구동되는 미세입자가 미세유체에 포함되고 상기 미세유체가 이동하는 유로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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5 |
5
청구항 1에 있어서,
상기 광원은 DMD, LCD, PDP, OLED, 레이저 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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6 |
6
청구항 1에 있어서,
상기 광원은 상기 전극 또는 상기 광전도성 층을 통하여 입사되는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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7 |
7
청구항 6에 있어서,
상기 광원이 상기 전극을 통하여 입사되는 경우, 상기 전극은 투명한 전도성 물질인 ITO (Indium Tin Oxide)로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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8 |
8
청구항 6에 있어서,
상기 광원이 상기 광전도성 층을 통하여 입사되는 경우, 상기 전극은 투명한 전도성 물질인 ITO (Indium Tin Oxide) 또는 불투명한 전도성 물질인 금, 알루미늄, 구리, N형 실리콘 기판 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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9 |
9
청구항 1에 있어서,
상기 두 개 이상의 전극 간 전기적 절연을 위한 절연 물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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10 |
10
청구항 9에 있어서,
상기 절연 물질은 질화 실리콘, 산화실리콘, 에폭시(epoxy) 고분자, 감광제(photoresist) 등으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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11
청구항 1에 있어서,
상기 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치 상에 미세유체의 이동의 이동을 위한 미세채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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12
청구항 11에 있어서,
상기 미세채널은 미세유체가 외부에서 유입되는 유입구; 및
상기 미세채널을 통과한 미세유체가 외부로 배출되는 배출구;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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13
청구항 1에 있어서,
상기 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치를 이용하여 구동하는 미세입자 및 물질을 감지하기 위한 감지장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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14
청구항 1에 있어서,
상기 광전도성층은 비정질 실리콘(amorphous silicon), 황화 카드뮴(CdS) 또는 npn 포토트랜지스터 등과 같은 광전도성 물질들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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15
청구항 1에 있어서,
상기 광전도성층과 상기 전극 사이에 접촉저항을 줄이기 위한 중간층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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16
청구항 15에 있어서,
상기 중간층은 도핑된 비정질 실리콘 (heavily doped amorphous silicon) 등을 사용하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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17
청구항 4에 있어서,
상기 미세유체 내 미세입자가 전하를 띄는 경우에는 전기 영동을 통해 미세입자를 구동하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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18
청구항 4에 있어서,
상기 미세유체 내 미세입자가 전하를 띄지 않는 경우에는 유전 영동을 통해 미세입자를 구동하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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19
청구항 4에 있어서,
상기 전극 및 상기 광전도성층에 조사된 빛에 의해 전기삼투 및 전열현상이 발생하여 상기 미세유체의 유동이 있는 경우 미세입자의 유동을 통해 미세입자를 이동시키는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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20
청구항 1에 있어서,
상기 전극에 인가되는 교류 전압의 주파수를 조절하여 미세입자의 이동을 조절하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치
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21
미세유체 또는 미세유체 내 미세입자가 이동하는 영역으로 빛을 조사하는 단계;
상기 빛의 조사여부에 따라 도통되는 광전도성층을 통해 특정 영역으로 전압을 인가하는 단계;
상기 인가되는 전압에 의해 단일 기판 상에 마련된 두 개 이상의 전극에 의해 형성되는 전위차를 통해 상기 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자를 이동시키는 단계;를 포함하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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청구항 21에 있어서,
상기 빛을 조사하는 단계는 광원과 상기 광전도성층 사이에 마련된 집광부를 통해 상기 광원으로부터 조사된 빛을 굴절 및 집광하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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23
청구항 21에 있어서,
상기 미세유체 또는 미세유체 내는 미세입자를 이동시키는 단계에서 상기 미세입자가 전하를 띄는 경우 전기 영동을 이용하여 이동시키는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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청구항 21에 있어서,
상기 미세유체 또는 미세유체 내는 미세입자를 이동시키는 단계에서 상기 미세입자가 전하를 띄지 않는 경우 유전 영동으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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25
청구항 21에 있어서,
상기 미세유체 또는 미세유체 내는 미세입자를 이동시키는 단계에서 상기 전극 및 상기 광전도성층에 조사된 빛에 의해 전기삼투 및 전열현상이 발생하여 상기 미세유체의 유동이 있는 경우 미세입자의 유동을 통해 미세입자를 이동시키는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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26
청구항 21에 있어서,
상기 미세유체 또는 미세유체 내는 미세입자를 이동시키는 단계에서 상기 전극에 인가되는 교류 전압의 주파수를 조절하여 미세유체 및 미세유체 내 미세입자의 유전 영동 및 전기삼투 등에 의한 미세입자의 이동특성을 변경하는 것을 특징으로 하는 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동방법
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