요약 | 본 발명은 브릿지 및 레버의 혼합을 이용한 구조를 채택하여 X, Y축 구동은 물론 Z축 구동에도 사용이 가능하도록 하여 원하는 증폭량을 얻을 수 있도록 함과 아울러 상부측으로부터 하중이 가해졌을 때에 압전소자에 압축력을 줌으로써 압전소자의 강성을 유지하면서 정밀 구동을 할 수 있도록 하는 브릿지와 레버를 혼합한 증폭기구를 제공하기 위한 것으로, 그 기술적 구성은, 중심부에 증폭이 가능하게 구비되는 브릿지; 브릿지를 양측부에서 지지하는 레버; 브릿지의 하단부 및 레버의 내측 상부에 연결되고, 전압의 제어 여부에 따라 길이 변화가 가능하게 구비되는 제 1, 2 압전소자; 및 제 1, 2 압전소자를 제어하는 제어수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.초정밀, 위치제어, 시스템, 브릿지, 레버, 전압, 압전소자, 제어수단, X축, Y축, Z축, 구동, 증폭, 변위, 압축력. |
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Int. CL | H01L 41/09 (2013.01) |
CPC | H01L 41/09(2013.01) H01L 41/09(2013.01) H01L 41/09(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060081431 (2006.08.28) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0800387-0000 (2008.01.28) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20080204) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.08.28) |
심사청구항수 | 7 |