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단계적 구동이 가능한 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체(ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER STRUCTURE CAPABLE OF STEPWISE ACTUATION)

  • 기술번호 : KST2018002212
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체는 전극; 및 상기 전극 상에 배치되고, 고정된 일단과 이동 가능한 자유단을 가지며 정전기력에 의해 구동되는 멀티모프 캔틸레버보(cantilever beam);를 포함하며, 상기 멀티모프 캔틸레버보는: 상기 전극과 상기 멀티모프 캔틸레버보 사이에 인가되는 전압의 크기에 따라, 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 제1값으로 유지되는 제1상태; 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값과 다른 제2값으로 유지되는 제2상태; 및 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값과 상기 제2값 사이의 값으로 유지되는 중간 상태를 가진다.
Int. CL H01L 41/09 (2006.01.01) H01L 41/047 (2006.01.01) H01L 41/22 (2006.01.01)
CPC H01L 41/09(2013.01) H01L 41/09(2013.01) H01L 41/09(2013.01)
출원번호/일자 1020160105391 (2016.08.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2059347-0000 (2019.12.19)
공개번호/일자 10-2018-0020679 (2018.02.28) 문서열기
공고번호/일자 (20191226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤준보 대한민국 대전광역시 유성구
2 임근서 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0806397-37
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0041762-72
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0197659-67
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0470958-49
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0470957-04
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2017.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0623253-61
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.11.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1099964-99
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-1099965-34
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0186051-06
11 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2018.05.23 수리 (Accepted) 7-8-2018-0011537-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0531742-75
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0977395-15
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0977396-61
16 등록결정서
Decision to grant		 2019.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0841950-03
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전극; 및상기 전극 상에 배치되고, 고정된 일단과 이동 가능한 자유단을 가지며 정전기력에 의해 구동되는 멀티모프 캔틸레버보(cantilever beam);를 포함하며, 상기 멀티모프 캔틸레버보는: 상기 전극과 상기 멀티모프 캔틸레버보 사이에 인가되는 전압의 크기에 따라, 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 제1값으로 유지되는 제1상태; 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값보다 낮은 제2값으로 유지되는 제2상태; 및 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값과 상기 제2값 사이의 값으로 유지되는 중간 상태를 가지며, 상기 고정된 일단으로부터 상기 자유단까지의 길이 방향에서 상기 멀티모프 캔틸레버보의 구성물질이 일정하고,상기 전극은 동일한 평면상에 형성되고,상기 제1상태에서 상기 전압은 상기 중간 상태로 이동하기 위한 제1 문턱전압 미만으로 인가되어 상기 자유단이 상기 전극으로부터 멀어지는 방향으로 휘어진 상태이고,상기 중간 상태에서 상기 전압은 상기 제1 문턱전압 이상의 크기를 갖는 전압으로 상기 제1 문턱전압보다 높은 제2 문턱전압 미만의 크기를 갖는 전압이 인가되고,상기 제2상태에서 상기 전압은 상기 제2 문턱전압 이상으로 인가되어 상기 멀티모프 캔틸레버보가 상기 전극에 포개진 상태인,정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 중간 상태에서 상기 전압의 크기는, 상기 제1상태에서 상기 전압의 크기와 상기 제2상태에서 상기 전압의 크기 사이의 크기를 갖는, 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 멀티모프 캔틸레버보는 적어도 하나 이상의 상기 중간 상태를 갖는, 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 전극은, 상기 멀티모프 캔틸레버보의 상기 자유단이 상기 전극 방향으로 이동한 때 상기 멀티모프 캔틸레버보와 상기 전극이 포개어지는 영역 중 적어도 일부 영역에서 적어도 하나 이상의 갭(gap)을 포함하는, 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 전극은, 상기 멀티모프 캔틸레버보의 상기 자유단이 상기 전극 방향으로 이동한 때 상기 멀티모프 캔틸레버보와 상기 전극이 포개어지는 영역 중 적어도 일부 영역에서 상기 일단으로부터 상기 자유단으로 연장되는 방향으로 이격된 복수의 부분전극을 포함하는, 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
8 8
제 1 항에 있어서,상기 멀티모프 캔틸레버보의 상기 일단이 고정되는 앵커를 더 포함하는, 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체
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삭제
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패밀리정보가 없습니다
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