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2개 이상의 가스토출구와, 상기 가스토출구와 동일한 개수의 오리피스를 구비하는 턴디쉬를 포함하는 주 분무시스템과; 적어도 1개 이상의 가스토출구와, 상기 가스토출구와 동일한 개수의 오리피스를 구비하는 턴디쉬를 포함하는 부 분무시스템;을 포함하여 구성되며, 상기 부 분무시스템은 상기 주 분무시스템과 간섭이 일어나지 않는 위치에서 분무 대상물이 위치하는 기판의 회전축을 중심으로 반경 방향으로 이동 가능하도록 위치하며, 상기 주 분무시스템을 대체 또는 보완하기 위하여 주 분무시스템과 독립되어 동작되는 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 가스분무시스템과 부 가스 분무시스템에서 가스토출구는 다수의 가스분무기별로 독립적으로 구비되어 별개로 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 가스분무시스템과 부 가스 분무시스템에서 가스토출구는 하나의 가스분무기에 여러 개의 가스토출구가 구비되도록 하여 일괄적으로 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 원하지 않는 분무기에 용탕공급을 차단할 수 있도록각각의 가스토출구는 스토퍼를 구비하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 분무시스템에서 기판 회전축을 중심으로 거리가 멀어질수록 각 오리피스간의 거리가 감소되도록 오리피스를 배치한 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 분무시스템에서 기판 회전축을 중심으로 거리가 멀어질수록 오리피스 직경이 증가되도록 형성한 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 분무시스템에서 각각의 오리피스를 곡선적으로 배치한 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 주 분무시스템에서 각각의 오리피스를 기판 회전축을 중심으로 반대 방향으로 배치한 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 부 분무시스템에서 가스분무기는 분무각도가 일정 범위에서 진동하는 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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제1항에 있어서, 상기 부 분무시스템에서 가스분무기는 독립적으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치
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