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기판 처리 장치

  • 기술번호 : KST2023001083
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 기판 처리 장치는, 기판을 탑재한 상태로 화학 기계적 연마 공정을 행하는 캐리어 유닛과, 캐리어 유닛의 외측에서 캐리어 유닛에 도킹되며 캐리어 유닛의 작동에 필요한 작동력을 공급하는 도킹 유닛과, 캐리어 유닛에 대한 도킹 유닛의 도킹 상태를 감지하는 도킹 감지부를 포함하는 것에 의하여, 캐리어 유닛에 대한 도킹 유닛의 도킹 상태를 정확하게 감지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/304 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01)
CPC H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01)
출원번호/일자 1020170052136 (2017.04.24)
출원인 주식회사 케이씨텍
등록번호/일자 10-2346263-0000 (2021.12.29)
공개번호/일자 10-2018-0118895 (2018.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20220103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.04.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨텍 대한민국 경기도 안성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안준호 대한민국 경기도 평택시 현촌*길 ** (용

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김준영 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 ** (대치동, 세풍빌딩 *층)(동천특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨텍 경기도 안성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0397349-18
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2017.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-1274459-59
5 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0401004-16
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0098030-11
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0428955-57
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-0715514-44
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0715513-09
11 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2021.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2021-5308724-76
12 등록결정서
Decision to grant
2021.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1002620-22
13 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2023.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2023-5079340-11
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 처리 장치로서,공압이 전달되는 공압 포트가 형성되고, 기판을 탑재한 상태로 화학 기계적 연마 공정을 행하는 캐리어 유닛과;본체부와, 상기 본체부에 대하여 상기 공압 포트에 접근 및 이격되는 방향으로 직선 이동 가능하고 상기 공압 포트에 도킹되는 도킹 공압 커넥터를 구비하여, 상기 캐리어 유닛의 외측에서 상기 캐리어 유닛에 도킹되며, 상기 캐리어 유닛의 작동에 필요한 작동력을 공급하는 도킹 유닛과;상기 도킹 공압 커넥터와 상기 공압 포트의 사이에 배치되는 패킹링부와, 상기 패킹링부에 연장되며 상기 본체부와 상기 캐리어 유닛의 사이에 배치되는 패킹플랜지부를 포함하여, 상기 캐리어 유닛과 상기 도킹 유닛의 사이에 배치되는 패킹부재를;포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치
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기판 처리 장치로서,공압이 전달되는 공압 포트가 형성되고, 기판을 탑재한 상태로 화학 기계적 연마 공정을 행하는 캐리어 유닛과;본체부와, 상기 본체부에 대하여 상기 공압 포트에 접근 및 이격되는 방향으로 직선 이동 가능하고 상기 공압 포트에 도킹되는 도킹 공압 커넥터와, 상기 도킹 공압 커넥터에 결합되는 기준부재를 구비하고, 상기 캐리어 유닛의 외측에서 상기 캐리어 유닛에 도킹되며, 상기 캐리어 유닛의 작동에 필요한 작동력을 공급하는 도킹 유닛과;상기 본체부에 대한 상기 기준부재의 변위를 감지하여, 상기 캐리어 유닛에 대한 상기 도킹 유닛의 도킹 상태를 감지하는 도킹 감지부를;포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.