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비부착성 세포의 정량적인 전기생리학적 모니터링을 위한 바이오센서에 있어서,기판;상기 기판 상에 정제된 반도체성 탄소나노튜브가 패턴화하여 일 방향으로 정렬된 탄소나노튜브 패턴층;상기 탄소나노튜브 패턴층 상에서 상기 정렬 방향의 일측에 배치된 소스 전극;상기 탄소나노튜브 패턴층 상에서 상기 정렬 방향의 타측에 배치된 드레인 전극; 및상기 탄소나노튜브 패턴층 상에서 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 이격되어 그 사이에 배치된 플로팅 전극을 포함하여 반복 사용가능한 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제1항에 있어서,게이트 바이어스 전압을 인가하기 위한 게이트 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리 또는 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브 패턴층은 단일벽 탄소나노튜브로 이루어진 것 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제2항에 있어서,상기 탄소나노튜브 패턴층은 탄소나노튜브 용액을 스핀 코팅하여 정렬시킨 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 플로팅 전극은 1개가 구비되거나, 복수개가 구비되어 상기 정렬 방향을 기준으로 일정 간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 소스 전극, 드레인 전극 및 플로팅 전극은포토리소그래피를 이용하여 상기 전극 모양을 패턴하고, 열증착법을 이용하여 Pd(팔라듐)/Au(금) 층을 증착한 뒤 리프트-오프법을 적용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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제7항에 있어서,상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 채널 부위를 제외한 나머지 부위를 산화 알루미늄으로 패시베이션 처리한 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서
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비부착성 세포의 정량적인 전기생리학적 모니터링을 위한 바이오센서의 제조방법에 있어서,세척된 기판을 준비하는 단계(S110);정제된 반도체성 탄소나노튜브의 용액을 상기 기판 상에 스핀 코팅하여 정렬된 탄소나노튜브 패턴층을 형성하는 단계(S120); 및상기 기판 상에 소스 전극 및 드레인 전극과, 그 사이에 이격 배치되는 적어도 1개 이상의 플로팅 전극을 상기 탄소나노튜브의 정렬 방향으로 형성하는 단계(S130)를 포함하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 탄소나노튜브 패턴층을 형성하는 단계(S120)는 분말 형태의 단일벽 탄소나노튜브를 초음파 처리를 통해 디클로로벤젠에 분산시키는 단계와,상기 분산된 탄소나노튜브 용액을 3000 ~ 7000rpm의 속도로 상기 기판에 스핀 코팅하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 소스 전극, 드레인 전극 및 플로팅 전극을 형성하는 단계(S130)는,포토레지스트에 상기 전극 모양을 패턴하는 단계와,상기 포토레지스트를 이용하여 상기 탄소나노튜브 패턴층 상에 Pd(팔라듐)/Au(금) 층을 증착하는 단계 및리프트 오프를 통한 전극 제작 단계를 포함하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 리프트 오프를 통한 전극 제작 단계 이후에,상기 탄소나노튜브 패턴층과 상기 전극들 상에 산화 알루미늄층을 형성하고, 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 채널 부위에 형성된 산화 알루미늄을 에칭 처리하여 제거하는 단계(S140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플로팅 전극을 이용한 탄소나노튜브 기반 바이오센서의 제조방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 따른 바이오센서를 이용하여 비부착성 세포의 전기생리학적 반응을 측정하는 방법에 있어서,상기 바이오센서와, 측정하고자 하는 비부착성 세포를 게이트 전극이 연결된 완충용액에 넣는 단계(S210)와,마이크로 피펫을 이용하여 상기 비부착성 세포를 상기 바이오센서의 전극 위에 올리는 단계(S220) 및상기 비부착성 세포를 누른 상태에서 니코틴 용액을 주입하면서 상기 바이오센서의 소스-드레인 전류를 측정하는 단계(S230)를 포함하는 비부착성 세포의 전기생리학적 반응을 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 비부착성 세포는 소세포성 폐암 세포와 같은 암 세포인 것을 특징으로 하는 비부착성 세포의 전기생리학적 반응을 측정하는 방법
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