맞춤기술찾기

이전대상기술

정전기력을 이용한 흑연 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015159599
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 흑연 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 정전기력을 이용하여 흑연(Graphite) 으로부터 그래핀(graphene, 흑연단일층) 또는 FLG(Few Layer Graphite, ~20층 이하(~5nm 이하)의 흑연박막)를 제조하는 방법에 관한 것이다. 더 구체적으로는 프리패터닝된 기판 (pre-patterned substrate)위에 흑연을 올려놓은 후 기판의 게이트 전극을 통해 전기장을 걸어줌으로써 정전기력에 의하여 흑연과 기판사이의 상호인력을 증가시키도록 한 다음, 흑연을 매우 천천히 끌어주어 그래핀 또는 FLG인 흑연 박막이 프리패터닝된 기판위에 남아 있도록 하는 흑연 박막의 제조방법에 관한 것이다.즉, 본 발명에 의하면 HOPG(highly oriented pyrolytic graphite, 각 흑연층이 정렬된 합성흑연)로부터 작은 조각을 뜯어낸 후 정전기력을 이용하여 프리패터닝된 기판과 흑연상호간 접착력을 증가시킨 상태에서 기판 위의 흑연조각을 끌어줌으로써 그래핀 또는 FLG를 얻을 수 있다. 정전기력, 흑연(graphite), 그래핀(graphene), FLG(Few Layer Graphite), 흑연 박막
Int. CL H01L 21/283 (2006.01)
CPC H01L 21/02527(2013.01) H01L 21/02527(2013.01) H01L 21/02527(2013.01)
출원번호/일자 1020070047008 (2007.05.15)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0819458-0000 (2008.03.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.15)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울 강남구
2 유재승 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김순웅 대한민국 서울시 구로구 디지털로**길 **, ***호 (구로동,에이스테크노타워*차)(정진국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0357039-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
3 등록결정서
Decision to grant
2008.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0162805-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
흑연 박막을 제조하는 방법에 있어,(a) 기판 위에 흑연조각을 올려놓는 단계; (b) 상기 기판에 전기장을 걸어주는 단계; 및 (c) 상기 전기장을 걸어줌과 동시에 혹은 순차적으로 상기 전기장이 형성되어 있는 상기 기판 상의 흑연 조각을 끌어주어 상기 흑연조각의 일부를 떼어내는 단계;를 포함하여 이루어지는 흑연 박막을 제조하는 방법
2 2
제 1항에 있어서 상기 흑연조각은 접착성 부재를 HOPG(Highly Oriented Pyrolytic Graphite)표면 위에 접촉시킨 후 떼어냄으로써 얻어지는 HOPG의 조각인 것을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
3 3
제 1항에 있어서 (a)단계는, 접착성 부재를 이용하여 흑연 조각을 프리패터닝된 기판 상에 접촉시킴으로써 기판 위에 흑연조각을 올려놓는 것을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
4 4
제1항에 있어서 (b) 단계는, 게이트 전극을 통해 기판의 절연층이 견딜 수 있는 최대 전압을 가함으로써 수행하는 것을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 기판의 절연층은 SiO2로 이루어진 것을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
6 6
제 1항에 있어서 (c)단계는, 상기 전기장이 형성되어 있는 상기 기판 상의 흑연조각을 접착성 부재를 이용하여 그 일면을 접촉시킨 상태에서 끌어줌으로써 상기 기판 상의 흑연조각의 일부를 떼어내는 단계임을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 흑연 박막은 그래핀(Graphene) 혹은 FLG(Few Layer Graphite)인 것을 특징으로 하는 흑연 박막을 제조하는 방법
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되는 그래핀 또는 FLG 인 흑연 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.