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서로 다른 적어도 두 개의 물질층이 측방으로(laterally) 접하여 배열된 접착 대상층을 포함하는 기판 구조체를 마련하는 단계; 2차원 물질(2D material)을 포함하되 상기 2차원 물질이 단위층을 구성하고 복수의 상기 단위층이 결합에 의해 층상(layered) 구조를 이루는 결정질 물질 부재를 마련하는 단계; 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층 사이에 결합이 형성되도록 상기 결정질 물질 부재를 상기 접착 대상층의 표면에 접착시키는 단계; 및 상기 접착 대상층의 표면에 상기 결정질 물질 부재로부터 박리된 2차원 물질층 패턴이 형성되도록 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층을 분리하는 단계를 포함하고, 상기 2차원 물질층 패턴의 형태는 상기 적어도 두 개의 물질층에 의해 정의되는, 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 구조체를 마련하는 단계는, 베이스 기판 상에 원하는 패턴 형상을 갖는 상기 접착 대상층을 형성하는 단계; 상기 접착 대상층 상에 지지층(supporting layer)을 형성하는 단계; 상기 지지층 상에 핸들링층(handling layer)을 형성하는 단계; 및 상기 접착 대상층, 상기 지지층 및 상기 핸들링층을 포함하는 적층 구조체를 상기 베이스 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 복수의 단위층 사이의 결합력 보다 크고, 상기 제 2 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 복수의 단위층 사이의 결합력 보다 작고, 상기 2차원 물질층 패턴은 상기 제 2 물질층이 아닌 상기 제 1 물질층 상에 형성되는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 물질층은 서로 다른 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 물질층은 도전체, 반도체 및 절연체 중 어느 하나이고, 상기 제 2 물질층은 도전체, 반도체 및 절연체 중 어느 하나인 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 접착 대상층의 표면에 형성된 상기 2차원 물질층 패턴을 상기 접착 대상층에서 별도의 접착 대상 기판으로 전사시키는 단계를 더 포함하고, 상기 접착 대상 기판과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 접착 대상층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력 보다 큰 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 물질층, 상기 제 1 물질층의 양측 각각에 배치된 제 2 물질층 및 적어도 상기 제 2 물질층 주위에 배치된 제 3 물질층을 포함하고, 상기 2차원 물질층 패턴은 상기 제 3 물질층이 아닌 상기 제 1 및 제 2 물질층 상에 형성되는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1 물질층은 제 1 절연체이고, 상기 제 2 물질층은 도전체이고, 상기 제 3 물질층은 제 2 절연체인 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 2차원 물질층 패턴은 상기 제 1 물질층 양측에 배치된 두 개의 상기 제 2 물질층을 상호 연결하는 채널층 패턴인 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 2차원 물질은 2차원 페로브스카이트(perovskite) 물질 및 TMD(transition metal dichalcogenide) 물질 중 하나를 포함하는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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서로 다른 적어도 두 개의 물질층이 측방으로(laterally) 접하여 배열된 접착 대상층을 포함하는 기판 구조체를 마련하는 단계; 2차원 물질(2D material)을 포함하되 상기 2차원 물질이 단위층을 구성하고 복수의 상기 단위층이 결합에 의해 층상(layered) 구조를 이루는 결정질 물질 부재를 마련하는 단계; 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층 사이에 결합이 형성되도록 상기 결정질 물질 부재를 상기 접착 대상층의 표면에 접착시키는 단계; 상기 접착 대상층의 표면에 상기 결정질 물질 부재로부터 박리된 2차원 물질층이 잔류되도록 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층을 분리하는 단계; 상기 접착 대상층의 표면에 배치된 상기 2차원 물질층을 접착 대상 기판의 표면에 접착시키는 단계; 및 상기 접착 대상 기판의 표면에 상기 2차원 물질층으로부터 패턴 형태로 분리된 2차원 물질층 패턴이 잔류되도록 상기 접착 대상층과 상기 접착 대상 기판을 분리하는 단계를 포함하고, 상기 2차원 물질층 패턴의 형태는 상기 적어도 두 개의 물질층 및 상기 접착 대상 기판에 의해 정의되는, 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 복수의 단위층 사이의 결합력 보다 크고, 상기 제 2 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 복수의 단위층 사이의 결합력 보다 크고, 상기 2차원 물질층은 상기 제 1 및 제 2 물질층 상에 잔류되는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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13
제 12 항에 있어서, 상기 제 1 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 접착 대상 기판과 상기 2차원 물질 사이의 결합력 보다 크고, 상기 제 2 물질층과 상기 2차원 물질 사이의 결합력은 상기 접착 대상 기판과 상기 2차원 물질 사이의 결합력 보다 작고, 상기 2차원 물질층 패턴은 상기 접착 대상 기판에서 상기 제 2 물질층에 대응하는 영역 상에 잔류되는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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14
제 12 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 물질층은 서로 다른 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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15
서로 다른 적어도 두 개의 물질층이 측방으로(laterally) 접하여 배열된 접착 대상층을 포함하는 기판 구조체를 마련하는 단계; 2차원 물질(2D material)을 포함하되 상기 2차원 물질이 단위층을 구성하고 복수의 상기 단위층이 결합에 의해 층상(layered) 구조를 이루는 결정질 물질 부재를 마련하는 단계; 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층 사이에 결합이 형성되도록 상기 결정질 물질 부재를 상기 접착 대상층의 표면에 접착시키는 단계; 및 상기 접착 대상층의 표면에 상기 결정질 물질 부재로부터 박리된 2차원 물질층이 잔류되도록 상기 결정질 물질 부재와 상기 접착 대상층을 분리하는 단계를 포함하고, 상기 2차원 물질층은 상기 적어도 두 개의 물질층 상에서 서로 다른 두께를 갖는, 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 2차원 물질층은 상기 제 1 물질층 상에 배치된 제 1 부분 및 상기 제 2 물질층 상에 배치된 제 2 부분을 포함하고, 상기 제 1 부분은 제 1 두께를 갖고, 상기 제 2 부분은 상기 제 1 두께와 다른 제 2 두께를 갖는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 3 물질층을 더 포함하고, 상기 2차원 물질층은 상기 제 3 물질층 상에 배치된 제 3 부분을 더 포함하고, 상기 제 3 부분은 상기 제 1 및 제 2 두께와 다른 제 3 두께를 갖는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 물질층은 제 1 및 제 2 물질층을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 물질층은 서로 다른 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는 2차원 물질의 선택적 분리 및 전사 방법
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청구항 1 내지 18 중 어느 한 항에 기재된 방법을 이용해서 2차원 물질층 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 2차원 물질층 패턴을 포함하는 소자를 형성하는 단계를 포함하는 2차원 물질이 적용된 소자의 제조 방법
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제 19 항에 있어서, 상기 소자는 반도체 소자, 디스플레이 소자, 태양전지 소자 및 센서용 소자 중 어느 하나를 포함하는 2차원 물질이 적용된 소자의 제조 방법
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