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내부에 중공부가 형성되고, 표면의 굴곡에 따라 변형이 가능한 러버콘을 포함하는 저주파 변형부; 및
흡착 표면과 상기 저주파 변형부 사이에 씰링되지 않는 부분으로 공기가 출입하는 것을 차단하도록 상기 저주파 변형부의 외측 둘레에 배치되는 복수의 빗살들을 포함하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서,
상기 빗살은 상기 프레임의 상측에 착탈 가능하게 고정되는 빗살 지지용 프레임에 고정된 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서,
상기 빗살은 상기 러버 콘의 외측 둘레를 따라 여러 겹으로 배치된 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서,
상기 저주파 변형부가 흡착 표면과 맞닿는 부분의 둘레를 따라 부착되고, 상기 저주파 변형부의 하단에서 외측으로 연장된 씰링 필름을 더 구비하며, 상기 빗살은 상기 씰링 필름의 외측 둘레에 접하여 배치되어서, 상기 중공부 내측에 외기보다 낮은 압력이 인가될 때, 저주파 변형부와 흡착 표면 사이의 틈새에 상기 씰링 필름이 빨려들어 틈새를 막는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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