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1
서로 마주보는 제1 면과 제2 면을 갖는 몸체부; 및상기 제1 면에 배치된 접착부를 포함하고,상기 접착부는 상기 제1 면과 평행한 방향에서 고리 형상의 단면을 갖고,상기 접착부에 의해 그 내부에 오목하게 들어간 석션 컵 형상 또는 분화구 형상의 접착 공간이 정의되고,상기 접착 공간의 높이는 상기 접착부의 높이보다 크고,상기 접착부의 높이 대 상기 접착부의 직경의 비를 나타내는 상기 접착부의 종횡비는 1보다 작으며,상기 몸체부의 모듈러스는 상기 제1 면에서 상기 제2 면으로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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서로 마주보는 제1 면과 제2 면을 갖는 몸체부; 및상기 제1 면에 배치된 접착부를 포함하고,상기 접착부는 상기 제1 면과 평행한 방향에서 고리 형상의 단면을 갖고,상기 접착부에 의해 그 내부에 오목하게 들어간 석션 컵 형상 또는 분화구 형상의 접착 공간이 정의되고,상기 접착 공간의 높이는 상기 접착부의 높이보다 크고,상기 접착부의 높이 대 상기 접착부의 직경의 비를 나타내는 상기 접착부의 종횡비는 1보다 작으며,상기 몸체부의 모듈러스는 1607kPa 이하인 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 접착부의 직경은 500 ~ 1,500nm이고,상기 접착부의 높이는 50 ~ 150nm이고,상기 접착부의 상기 종횡비는 1/30 ~ 3/10이며,상기 접착 공간의 높이는 50 ~ 250nm인 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 몸체부는,상기 접착부와 연결되는 제1 몸체부와,상기 제1 몸체부 아래에 배치되는 제2 몸체부를 포함하고,상기 제2 몸체부의 모듈러스는 상기 제1 몸체부의 모듈러스보다 작은 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 건식 접착 구조체는 고분자로 형성되고,상기 건식 접착 구조체의 모듈러스는, 상기 고분자와 상기 고분자의 경화제의 함량을 조절하는 것에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 몸체부와 상기 접착부는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 건식 접착 구조체는,폴리디메틸실록산으로 형성되는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체
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8
홀이 형성된 홀 패턴 몰드 위에 제1 고분자를 제공한 후 상기 홀 패턴 몰드의 상부면과 접촉하는 상기 제1 고분자를 제거하여 상기 홀에 배치되고 상기 홀 패턴 몰드의 상부면 위로 돌출되는 고분자 구조체를 형성하는 단계;상기 고분자 구조체를 식각하여 고분자 구조체 패턴을 형성하는 단계;상기 구조체 패턴이 형성된 상기 홀 패턴 몰드 위에 제2 고분자를 제공한 후 분리하여 예비 고분자 몰드를 형성하는 단계;상기 예비 고분자 몰드 위에 제3 고분자를 제공한 후 분리하여 고분자 몰드를 형성하는 단계; 및상기 고분자 몰드 위에 제4 고분자를 제공한 후 분리하는 단계를 포함하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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제 8 항에 있어서,상기 제1 고분자는 상기 홀 패턴 몰드에 대하여 식각 선택성을 갖는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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10
제 8 항에 있어서,상기 식각에 의해 상기 홀의 측면과 상기 고분자 구조체 패턴 사이에 리세스 영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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11
제 10 항에 있어서,상기 리세스 영역의 높이는 50 ~ 150nm인 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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12
제 8 항에 있어서,상기 홀의 종횡비는 3 이상이고,상기 홀의 측면은 물결 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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13
제 8 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 고분자는 폴리우레탄 아크릴레이트이고,상기 제4 고분자는 폴리디메틸실록산인 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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14
제 8 항에 있어서,상기 제4 고분자를 상기 고분자 몰드로부터 분리하기 전에 상기 제4 고분자 위에 제5 고분자를 제공하고, 상기 제4 고분자 및 상기 제5 고분자는 서로 다른 모듈러스를 갖는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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15
제 14 항에 있어서,상기 모듈러스는 상기 제4 고분자 및 상기 제5 고분자에 포함되는 경화제의 함량을 조절하는 것에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 건식 접착 구조체의 형성 방법
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