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비휘발성 메모리 소자 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015162313
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비휘발성 메모리 소자는 게이트 전극, 게이트 전극 상에 제공된 정보 저장층, 및 상기 정보 저장층 상에 제공되며 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다. 상기 정보 저장층은 이종 인터페이스(hetero interface)를 이루며 각각의 유전율이 서로 다른 3개의 층들로 이루어진다.
Int. CL H01L 27/115 (2017.01.01) H01L 21/8247 (2006.01.01)
CPC H01L 27/11568(2013.01) H01L 27/11568(2013.01) H01L 27/11568(2013.01) H01L 27/11568(2013.01)
출원번호/일자 1020130119969 (2013.10.08)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2089347-0000 (2020.03.10)
공개번호/일자 10-2015-0041437 (2015.04.16) 문서열기
공고번호/일자 (20200316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.30)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영규 대한민국 대구 수성구
2 남성호 대한민국 대구 수성구
3 김화정 대한민국 대구 수성구
4 서주역 대한민국 경남 창원시 진해구
5 박수형 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0911251-18
2 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060426-42
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0863533-01
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0081207-50
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0546361-23
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0998414-32
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0998413-97
10 등록결정서
Decision to grant
2020.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0137963-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
게이트 전극;게이트 전극 상에 제공된 정보 저장층; 및상기 정보 저장층 상에 제공되며 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하며,상기 정보 저장층은 이종 인터페이스(hetero interface)를 이루며 각각의 유전율이 서로 다른 3개의 층들로 이루어지며, 상기 층들은 상기 게이트 전극 상에 순차적으로 적층되며 각각이 서로 다른 유전 상수를 갖는 게이트 절연막, 층간막, 및 유기 반도체막이고, 상기 층간막의 유전 상수는 상기 게이트 절연막의 유전 상수 및 상기 유기 반도체막의 유전 상수보다 큰 비휘발성 메모리 소자
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 층간막의 유전 상수는 12 내지 16이며, 상기 게이트 절연막 및 상기 유기 반도체막의 유전 상수는 각각 1 내지 5인 비휘발성 메모리 소자
5 5
제4항에 있어서,상기 층간막은 자가 도핑된 고분자 또는 폴리아세틸렌 유도체를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
6 6
제5항에 있어서,상기 층간막은 자가 도핑된 아닐린 유도체를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
7 7
제6항에 있어서,상기 층간막은 자가 도핑된 폴리(오르토-안트라닐린 산)인 비휘발성 메모리 소자
8 8
제4항에 있어서,상기 게이트 절연막은 유기 고분자를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
9 9
제8항에 있어서,상기 게이트 절연막은 폴리비닐페놀-메틸레이티드 멜라민 코포름알데히드, 폴리스티렌, 폴리(α-메틸스티렌), 폴리(2-비닐 나프탈렌), 폴리(4-비닐 페놀), 폴리(2-비닐피리딘) 폴리(메틸메타크릴레이트), 및 폴리이미드 중 적어도 하나를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
10 10
제4항에 있어서,상기 유기 반도체막은 유기 고분자를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
11 11
제10항에 있어서,상기 유기 반도체막은 폴리(3-헥실티오펜), 폴리벤조티아디아졸, 폴리시클로펜타디티오펜, 폴리(p-페닐렌 비닐렌), 폴리트리아릴아민, 폴리인다세노디티오펜, 폴리(페릴렌 디이미드-티에노-디티오펜), 폴리(나프탈렌디카르복시미드), 폴리(3,3-디도데실쿼터티오펜), 및 폴리(2,5-비스(3-알킬티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜) 중 적어도 하나를 포함하는 비휘발성 메모리 소자
12 12
게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 제공되며 제1 유전 상수를 갖는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 제공되며 제2 유전 상수를 갖는 유기 반도체막;상기 게이트 절연막과 상기 유기 반도체막 사이에 제공되며 제3 유전 상수를 갖는 층간막; 및상기 유기 반도체막 상에 제공된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하며,상기 제3 유전 상수는 상기 제1 유전 상수 및 상기 제2 유전 상수보다 큰 비휘발성 메모리 소자
13 13
제12항에 있어서,상기 제1 유전 상수 및 상기 제2 유전 상수는 각각 1 내지 5이며, 상기 제3 유전 상수는 12 내지 16인 비휘발성 메모리 소자
14 14
기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 상에, 그 내부에 유전 상수가 서로 다른 이종 인터페이스를 가지는 정보 저장층을 형성하는 단계; 및상기 정보 저장층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 정보 저장층은 각각이 서로 다른 유전 상수를 가지는 게이트 절연막, 층간막, 및 유기 반도체막을 순차적으로 형성되며, 상기 층간막의 유전 상수는 상기 게이트 절연막의 유전 상수 및 상기 유기 반도체막의 유전 상수보다 큰 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
제14항에 있어서,상기 층간막의 유전 상수는 12 내지 16이며, 상기 게이트 절연막 및 상기 유기 반도체막의 유전 상수는 각각 1 내지 5인 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
18 18
제17항에 있어서,상기 층간막은 자가 도핑된 고분자 또는 폴리아세틸렌 유도체를 포함하는 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
19 19
제17항에 있어서,상기 게이트 절연막은 폴리비닐페놀-메틸레이티드 멜라민 코포름알데히드, 폴리스티렌, 폴리(α-메틸스티렌), 폴리(2-비닐 나프탈렌), 폴리(4-비닐 페놀), 폴리(2-비닐피리딘) 폴리(메틸메타크릴레이트), 및 폴리이미드 중 적어도 하나를 포함하는 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
20 20
제17항에 있어서,상기 유기 반도체막은 폴리(3-헥실티오펜), 폴리벤조티아디아졸, 폴리시클로펜타디티오펜, 폴리(p-페닐렌 비닐렌), 폴리트리아릴아민, 폴리인다세노디티오펜, 폴리(페릴렌 디이미드-티에노-디티오펜), 폴리(나프탈렌디카르복시미드), 폴리(3,3-디도데실쿼터티오펜), 및 폴리(2,5-비스(3-알킬티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜) 중 적어도 하나를 포함하는 비휘발성 메모리 소자 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09331291 US 미국 FAMILY
2 US20150097170 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2015097170 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9331291 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.