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초음파를 발생시키는 cMUT어레이;상기 cMUT어레이가 본딩되는 제1 면, 상기 제1 면에 일렬로 마련되어 상기 cMUT어레이와 연결되는 복수의 패드, 상기 복수의 패드 각각의 전면에 마련되는 이방성 도전필름 및 상기 제1 면의 반대에 배치되는 제2 면을 포함하는 집적회로;상기 집적회로를 제어하고, 상기 집적회로의 제2 면의 아래에 배치되어 상기 복수의 패드의 열을 따라 연장되는 엣지부 및 상기 엣지부에 연결되고 상기 집적회로의 제2 면과 수직인 측면을 포함하는 제어보드;상기 이방성 도전필름을 통하여 상기 복수의 패드와 전기적으로 연결되어 상기 집적회로로 신호를 출력하는 일단, 상기 제어보드의 측면의 일부를 따라 상기 이방성 도전필름으로부터 연장되는 몸체 및 상기 제어보드의 측면에 마련된 커넥터와 연결되는 타단을 포함하는 연성인쇄회로기판;을 포함하는 초음파 프로브
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제1항에 있어서,상기 제어보드는,상기 연성인쇄회로기판을 통해 상기 집적회로로 신호를 출력하는 초음파 프로브
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제1항에 있어서,상기 이방성 도전필름은,열과 압력의 인가 시 상기 연성인쇄회로기판과 상기 패드를 본딩시키는 초음파 프로브
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제1항에 있어서,상기 집적회로는,상기 cMUT어레이 본딩된 제1 영역; 및상기 제1 영역의 외측 경계에 마련된 제2 영역;을 포함하고,상기 복수의 패드는,상기 cMUT어레이와 평행하도록 일렬로 제2 영역에 마련되는 초음파 프로브
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제1항에 있어서,상기 cMUT어레이가 본딩된 집적회로를 지지하도록 상기 집적회로의 제2 면에 마련되는 지지부;를 더 포함하는 초음파 프로브
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제1항에 있어서,상기 cMUT어레이, 집적회로 및 연성인쇄회로기판을 그 내부에 구비하는 전단부와 사용자가 파지할 수 있도록 마련되는 후단부로 형성되는 하우징;을 더 포함하는 초음파 프로브
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제6항에 있어서,상기 제어보드는,상기 하우징의 후단부의 내부 공간에서 상기 집적회로의 후방에 설치되는 초음파 프로브
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초음파를 발생시키는 cMUT어레이를 집적회로의 제1 면에 본딩하는 단계;상기 제1 면에 일렬로 마련되어 상기 cMUT어레이와 연결되는 복수의 패드 전면에 이방성 도전필름을 마련하는 단계;열과 압력 중 적어도 하나를 인가하여 연성인쇄회로기판의 일단을 상기 이방성 도전필름에 연결하는 단계;상기 연성인쇄회로기판을 통해 상기 집적회로로 신호를 출력하는 제어보드를 상기 복수의 패드의 열을 따라 연장되는 엣지부 및 상기 엣지부에 연결되고 상기 집적회로와 수직인 측면을 포함하도록 상기 집적회로의 후방에 설치하는 단계; 및상기 제어보드의 측면의 일부를 따라 연장되는 몸체를 포함하는 상기 연성인쇄회로기판의 타단을 상기 제어보드의 측면에 마련되는 커넥터에 연결하는 단계;를 포함하는 초음파 프로브의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 cMUT어레이, 집적회로 및 연성인쇄회로기판을 커버하도록 마련된 전단부와, 상기 제어보드를 커버할 수 있도록 마련된 후단부로 형성되는 하우징을 조립하는 단계;를 더 포함하는 초음파 프로브의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 cMUT어레이가 본딩된 집적회로를 지지하도록 상기 집적회로의 후면에 지지부를 설치하는 단계;를 더 포함하는 초음파 프로브의 제조방법
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