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흡음층;서로 이격되어 배치되는 다수 개의 전극을 포함하며, 상기 흡음층 상부에 배치되는 플렉서블 인쇄회로 기판(FPCB);상기 플렉서블 인쇄회로 기판의 상부에 배치되되, 상기 플렉서블 인쇄회로 기판의 전극에 대응되도록 서로 이격되어 배치되는 다수 개의 압전소자;상기 다수 개의 압전소자의 상부에 배치되는 공통 전극; 및상기 공통 전극의 상부에 배치되되, 상기 다수 개의 압전소자에 대응되도록 서로 이격되어 배치되는 다수 개의 정합층;상기 서로 이격되어 배치되는 다수 개의 압전소자의 사이 및 서로 이격되어 배치되는 다수 개의 정합층 사이에 스페이서;를 구비하며, 상기 플렉서블 인쇄회로 기판은 단층으로 형성됨을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 1항에 있어서, 상기 단층의 플렉서블 인쇄회로 기판은전기전도성을 갖는 다수 개의 관통홀을 포함하는 베이스 필름;상기 베이스 필름의 제1 면에 배치되는 다수 개의 제1 전극;상기 베이스 필름의 다수 개의 관통홀의 각각과 전기적으로 연결되도록 배치되는 다수 개의 제2 전극;상기 베이스 필름의 제1 면에 배치되고, 상기 다수 개의 제1 전극과 각각 전기적으로 연결되는 다수 개의 제1 전극 배선; 및상기 베이스 필름의 제1 면에 대향되는 제2 면에 배치되고, 상기 다수 개의 관통홀을 통해 상기 다수 개의 제2 전극과 각각 전기적으로 연결되는 다수 개의 제2 전극 배선;을 구비하고,상기 다수 개의 압전소자는 상기 제1 또는 제2 전극 위치에 형성되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 2항에 있어서, 상기 다수 개의 관통홀은상기 제2 전극 위치에 대응되는 베이스 필름에 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극 배선은직선 형태 또는 지그재그 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 1항에 있어서, 상기 정합층은수직으로 배치되되 각각 다른 재질인 제1 정합층 및 제2 정합층으로 분리되어 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 1항에 있어서, 상기 2차원 배열 초음파 트랜스듀서는정면 및 측면의 사전에 설정된 영역까지 형성되는 음향렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 1항에 있어서, 상기 스페이서는서로 이격되어 배치되는 상기 다수 개의 압전소자들의 사이 및 정합층들의 사이를 흡음 물질로 채워넣고 경화시키는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 1항에 있어서, 2차원 배열 초음파 프로브(probe)는 상기 2차원 배열 초음파 트랜스듀서를 하나 또는 둘 이상 배열하여 2차원 배열 초음파 프로브를 형성하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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2차원 배열 초음파 트랜스듀서의 제조 방법에 있어서,(a) 흡음층을 형성하는 단계;(b) 상기 흡음층의 상부에 플렉서블 인쇄회로기판을 접착하는 단계;(c) 상기 플렉서블 인쇄회로기판의 상부에 압전체를 적층하는 단계;(d) 상기 압전체를 다이싱(dicing)하여 각각의 압전소자로 분리하는 단계;(e) 상기 분리된 압전소자 사이에 흡음 물질을 채워넣고 경화시키는 단계;(f) 상기 압전소자의 상부에 공통전극을 적층하는 단계;(g) 상기 공통전극의 상부에 정합층물질을 적층하는 단계;(h) 상기 정합층물질을 다이싱하여 상기 각각의 압전소자에 대응되는 정합층으로 분리하는 단계; 및(i) 상기 분리된 정합층 사이에 흡음 물질을 채워넣고 경화시키는 단계; 를 포함하고, 상기 플렉서블 인쇄회로 기판은 단층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 (i) 단계 다음에, 상기 2차원 배열 초음파 트랜스듀서의 정면 및 측면의 사전에 설정된 영역까지 음향렌즈를 충진하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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