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고분자 또는 종이 기판 상에 양극 활물질을 증착하는 단계; 및상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계;를 포함하고,상기 증착 및 결정화는 5 내지 35℃의 상온에서 수행하는 것이며,상기 결정화된 양극 활물질로 이루어지는 양극 박막은 균열, 박리 또는 용융 영역을 나타내지 않는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저는 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 엑시머 레이저는 KrF 또는 ArF 소스를 이용하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계는, 10 나노초(ns) 미만 동안 상기 양극 활물질에 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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7
제 1 항에 있어서,상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계는, 상기 양극 활물질에 1 mJ/cm2 이상 80 mJ/cm2 미만의 에너지를 갖는 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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8
제 1 항에 있어서,상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계는, 상기 양극 활물질에 1 회 이상 2000 회 이하의 횟수로 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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9
제 8 항에 있어서,상기 레이저는 KrF 소스를 이용하는 엑시머 레이저이며,상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계는, 상기 양극 활물질에 500 회 이상 2000 회 이하의 횟수로 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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10
제 1 항에 있어서,상기 기판 상에 양극 활물질을 증착하는 단계 이전에,상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 버퍼층은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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12
제 1 항에 있어서,상기 기판 상에 양극 활물질을 증착하는 단계 이전에,상기 기판 상에 양극 전류 집전체를 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 양극 활물질은 LiNi0
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제 1 항에 있어서,상기 기판 상에 양극 활물질을 증착하는 단계는, 상기 양극 활물질을 수십 nm 내지 수 um 의 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극 제조 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 박막 전지용 양극 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 박막 전지용 양극
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기판;상기 기판 상에 형성된 양극 전류 집전체;상기 양극 전류 집전체 상에 형성된 양극;상기 양극 상에 형성된 전해질층; 및상기 전해질층 상에 형성된 음극;을 포함하되, 상기 기판은 고분자 물질 또는 종이로 이루어지는 것이고,상기 양극은 레이저에 의하여 결정화된 것이고, 상기 양극은 5 내지 35℃의 상온에서 증착 및 결정화된 것이며, 균열, 박리 또는 용융 영역을 나타내지 않는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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17
제 16 항에 있어서,상기 양극의 일면과 상기 양극 전류 집전체의 일면은 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 16 항에 있어서,상기 기판과 상기 양극 사이에 형성된 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 18 항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 양극으로부터 상기 기판으로의 열 전달을 방해하는 열차단층의 역할을 하는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 18 항에 있어서,상기 버퍼층은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 16 항에 있어서,상기 양극은 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 박막 전지용 양극 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 16 항에 있어서, 상기 양극과 상기 음극 사이에 형성된 전해질층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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제 16 항에 있어서, 상기 음극 상에 상기 박막 전지의 산화를 방지하는 배리어 필름층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전지
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