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Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드 및 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산을 포함하며,상기 Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드, 양극 및 기판을 포함하는 상부와 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산, 음극 및 기판을 포함하는 하부 사이에 스페이서(spacer)를 위치시킴으로써, 상부 및 하부가 분리된 구조를 갖는, 마찰전기 기반 수소센서(triboelectric based hydrogen sensor)
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제 1 항에 있어서,상기 수소센서는, Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드와 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산의 접촉 및 분리에 의한 마찰전기에 의해 수소를 검출하는 수소센서
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제 1 항에 있어서,상기 Pd 나노입자는 ZnO 나노로드에 스퍼터링됨으로써 ZnO 나노로드에 첨가되는 수소센서
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제 1 항에 있어서, 상기 피라미드는 형태의 모서리 길이는 10 μm 내지 100 μm 인 수소센서
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제 1 항에 있어서, 상기 ZnO 나노로드의 길이는 0
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제 1 항에 있어서, 상기 Pd 나노입자의 크기는 1 nm 내지 50 nm 인 수소센서
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제 1 항에 있어서,상기 수소센서는 실온에서 10 ppm 내지 10,000 ppm의 수소 가스 검출 범위를 갖는 수소센서
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제 1 항에 있어서,상기 수소센서는 수소 검출에 따른 출력 전압을 기록하는 수소센서
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제 1 항에 있어서,상기 양극은 Au 또는 Al 이고,상기 음극은 Al 또는 Au 이고,상기 기판은 PET 또는 PI 인 수소센서
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하기 단계를 포함하는, 마찰전기 기반 수소센서를 제조하는 방법:(a) Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드, 양극 및 기판을 포함하는 상부를 제조하는 단계;(b) 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산, 음극 및 기판을 포함하는 하부를 제조하는 단계; 및 (c) 상기 상부 및 하부를 마주보게 하여, 상부와 하부 사이에 2 개의 스페이서를 위치시키는 단계
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