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마찰전기 기반 수소센서 및 그의 제조 방법(A TRIBOELECTRIC BASED HYDROGEN SENSOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017008758
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요약 본 발명은 마찰전기 기반 수소센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드 및 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산(PDMS)을 포함하는 마찰전기 기반 수소센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마찰전기 기반 수소센서는, Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드와 피라미드 형태의 PDMS가 접촉했다가 접촉이 끊어짐에 따른 마찰전기 효과를 통해, 기계적 에너지가 전기적 에너지로 전환되어 수소 가스를 검출한다. 본 발명에 따른 마찰전기 기반 수소센서는 10 ppm 내지 10,000 ppm의 수소 가스 검출 범위를 가지며, 수소 검출을 바로 전압으로 기록할 수 있어, 신호처리가 쉽고 노이즈가 거의 없다는 장점이 있다.
Int. CL G01N 27/60 (2016.01.05) B82Y 15/00 (2016.01.05) B82Y 30/00 (2016.01.05)
CPC G01N 27/60(2013.01) G01N 27/60(2013.01) G01N 27/60(2013.01)
출원번호/일자 1020150163880 (2015.11.23)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1742173-0000 (2017.05.25)
공개번호/일자 10-2017-0059662 (2017.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20170601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.23)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정귀상 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 성화에프티 부산광역시 강서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1138999-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0040510-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0036978-30
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0251575-30
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0251574-95
8 등록결정서
Decision to grant
2017.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0328514-96
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드 및 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산을 포함하며,상기 Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드, 양극 및 기판을 포함하는 상부와 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산, 음극 및 기판을 포함하는 하부 사이에 스페이서(spacer)를 위치시킴으로써, 상부 및 하부가 분리된 구조를 갖는, 마찰전기 기반 수소센서(triboelectric based hydrogen sensor)
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 수소센서는, Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드와 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산의 접촉 및 분리에 의한 마찰전기에 의해 수소를 검출하는 수소센서
4 4
제 1 항에 있어서,상기 Pd 나노입자는 ZnO 나노로드에 스퍼터링됨으로써 ZnO 나노로드에 첨가되는 수소센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 피라미드는 형태의 모서리 길이는 10 μm 내지 100 μm 인 수소센서
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 ZnO 나노로드의 길이는 0
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 Pd 나노입자의 크기는 1 nm 내지 50 nm 인 수소센서
8 8
제 1 항에 있어서,상기 수소센서는 실온에서 10 ppm 내지 10,000 ppm의 수소 가스 검출 범위를 갖는 수소센서
9 9
제 1 항에 있어서,상기 수소센서는 수소 검출에 따른 출력 전압을 기록하는 수소센서
10 10
제 1 항에 있어서,상기 양극은 Au 또는 Al 이고,상기 음극은 Al 또는 Au 이고,상기 기판은 PET 또는 PI 인 수소센서
11 11
하기 단계를 포함하는, 마찰전기 기반 수소센서를 제조하는 방법:(a) Pd 나노입자가 첨가된 ZnO 나노로드, 양극 및 기판을 포함하는 상부를 제조하는 단계;(b) 피라미드 형태의 폴리디메틸실록산, 음극 및 기판을 포함하는 하부를 제조하는 단계; 및 (c) 상기 상부 및 하부를 마주보게 하여, 상부와 하부 사이에 2 개의 스페이서를 위치시키는 단계
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 울산대학교 산학협력단 핵심연구지원사업 자가발전형 웨어러블 가스센서에 관한 연구
2 지식경제부 울산대학교 산학협력단 친환경 전지융합 실증화단지 구축 기술개발사업 실증단지용 보급형 수소센서 개발 및 모니터링 연구