| 1 |
1
홀(hole) 패턴이 형성된 유연 지지체; 및 상기 지지체의 적어도 일면 상에 형성되는 전도성 박막;을 구비하며,상기 전도성 박막은, 서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉하고 있는 크랙면을 갖는 직선으로 유도된 크랙을 포함하며,상기 크랙면은 상기 유연 지지체에 형성된 규칙적인 홀(hole) 패턴에 의해 직선 형태로 유도되고,외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하면서 접촉면적이 변화하거나 단락 혹은 재접촉에 의해 발생되는 전기적 변화의 측정에 의한 외부자극을 측정하는 고감도 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 크랙면은 인접하는 홀 사이에 외력에 의한 응력이 집중 발생되어, 홀 패턴을 따라 크랙이 직선 형태로 유도되는 것인 고감도 센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 크랙면은 인접하는 홀과 홀 사이에 구비되며, 상기 크랙면의 길이(G)는, 상기 크랙면이 위치하는 인접하는 홀과 홀의 중심을 연결하는 직선(P)에 대해 60% 이상의 길이를 갖는 것인 고감도 센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 크랙면에 가해지는 외력의 각도가 상기 크랙면에 대해 90°또는 45°를 이루는 방향으로 가해지는 것인 고감도 센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,7 내지 10kPa 범위의 압력에서 2x104 이상의 민감도를 갖는 고감도 센서
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 홀 패턴의 모양은 4개의 호(arc)가 결합되어 4개의 꼭지점을 갖는 십자 형태 또는 곡선으로 이루어진 마름모 형상으로 이루어진 것인 고감도 센서
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 유연 지지체는 폴리우레탄아크릴레이트 (PUA), 폴리디메틸실록세인 (PDMS), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP) 및 폴리에틸렌(PE) 으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합인 것인 고감도 센서
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 전도성 박막은 Au, Ag, Pt, Cu, Cr, Pt 등으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합인 것인 고감도 센서
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 크랙은 나노 수준의 미세 크랙인 것인 고감도 센서
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,외부자극에 의해 상기 크랙의 전기적 단락 또는 개방이 발생하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화되는 것을 특징으로 하는 고감도 센서
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 외부자극이 인장(stretch) 및 압력(press) 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것인 고감도 센서
|
| 12 |
12
제1항에 있어서,상기 전도성 박막의 두께가 0
|
| 13 |
13
제1항에 있어서,0 내지 10%의 변형률에서 게이지 팩터(gauge factor)가 1 내지 2x106 인 것인 고감도 센서
|
| 14 |
14
제 1항에 있어서,상기 고감도 센서의 유연성은 최소 반지름 1 mm 이상으로 구부릴 수 있는 것인 고감도 센서
|
| 15 |
15
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 압력센서
|
| 16 |
16
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 인장센서
|
| 17 |
17
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 압력 및 인장센서
|
| 18 |
18
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 인공 피부
|
| 19 |
19
유연 지지체에 규칙적 홀 패턴을 형성하는 단계;상기 유연 지지체의 적어도 일면 상에 전도성 박막을 형성하는 단계; 및 상기 전도성 박막을 인장하여 직선상의 크랙을 유도하는 단계;를 포함하는 제1항의 고감도 센서의 제조방법
|
