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베이스 기판;상기 베이스 기판의 일면에 형성되는 나선형의 코일패턴;을 포함하며,상기 코일패턴은일부 영역이 상기 베이스 기판 일면의 내부에 삽입형성되는 스파이럴 인덕터
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청구항 1에 있어서,상기 코일패턴은상기 베이스 기판 일면에 외측으로 돌출형성되는 제1 영역과, 상기 베이스 기판 일면의 내부에 삽입형성되는 제2 영역을 포함하며, 상기 제1 영역과 제2 영역이 연속으로 형성되는 스파이럴 인덕터
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청구항 2에 있어서,상기 코일패턴은코일패턴의 중심으로부터 외측방향으로 상기 제1 영역과 제2 영역이 교번적으로 반복되도록 형성되는 스파이럴 인덕터
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청구항 3에 있어서,상기 코일패턴은코일패턴의 중심으로부터 외측방향으로, 상기 제1 영역이 1회 턴(turn)을 형성하고 순차적으로 제2 영역이 1회 턴(turn)을 형성하는 방법으로, 상기 제1 영역과 제2 영역이 교번적으로 반복되도록 형성되는 스파이럴 인덕터
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청구항 4에 있어서,상기 코일패턴은단면의 높이(h)와 폭(w)의 비(h/w)가 1보다 크게 형성되는 스파이럴 인덕터
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