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제1 면과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 기판; 상기 기판의 제1 면 상에 형성되는 적어도 하나의 전극패드; 및 상기 전극패드의 상기 기판을 향한 면에 형성되고, 상기 기판의 제1 면에서 제2 면 방향으로 상기 기판에 삽입되도록 돌출형성되는 적어도 하나의 고정부를 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조
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청구항 1에 있어서, 상기 전극패드는 상기 기판에 형성되는 전기소자에 연결되며,상기 전기소자는 상기 기판에 형성되는 전송선로, 인덕터, 캐패시터, 저항, 안테나 중에서 어느 하나를 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조
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청구항 2에 있어서, 상기 기판의 제1 면 또는 제2 면 상에 형성되며, 상기 전기소자 및 상기 전극패드의 적어도 일부를 커버하여 보호하는 보호층을 더 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조
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청구항 1에 있어서, 상기 고정부는 상기 기판의 내측으로 돌출되며, 원뿔형, 기둥형, 벽형 중에서 어느 하나의 형상을 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조
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청구항 1에 있어서, 상기 고정부는 상기 기판의 제1 면에서 제2 면을 관통하는 비아로 형성되는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조
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6
기판의 제1 면에서 전극패드가 형성될 영역에 상기 기판의 일부를 제거하여 수용부를 형성하는 기판 가공 단계;상기 수용부에 금속을 충진하여 고정부를 형성하는 고정부 형성단계; 및 상기 기판의 제1 면 상에 상기 고정부와 연결되도록 전극패드를 형성하는 전극패드 형성단계를 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조 제조방법
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청구항 6에 있어서, 상기 기판 가공 단계는 상기 기판이 감광성 유리 재질로 형성된 경우, 상기 수용부가 형성될 영역을 노출시키는 마스크를 이용하여 자외선을 감광시키는 감광 단계;상기 기판을 열처리하여 상기 수용부가 형성될 영역을 결정화하는 열처리 단계; 및 상기 기판에서 결정화된 부분을 식각하는 결정영역 제거 단계를 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조 제조방법
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8
청구항 6에 있어서, 상기 기판 가공 단계는 상기 기판이 실리콘 재질로 형성된 경우, 상기 수용부가 형성될 영역을 노출하도록 상기 기판의 제1 면 상에 마스크를 형성하는 마스크층 형성단계; 및 상기 기판에서 마스크에 의해 커버되지 않은 부분을 식각하고, 상기 마스크를 제거하는 노출영역 제거 단계를 포함하는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조 제조방법
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청구항 6에 있어서, 상기 기판 가공 단계는 상기 기판에 전기소자를 형성하기 위하여 필요한 형상으로 상기 기판을 가공하는 과정에서 함께 수행되고, 상기 고정부 형성단계는 상기 기판에 전기소자를 형성하기 위하여 필요한 금속 충진 과정에서 함께 수행되고, 상기 전극패드 형성단계는 상기 기판에 전기소자를 형성하기 위하여 필요한 전극패턴을 형성하는 과정에서 함께 수행되는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조 제조방법
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10
청구항 6에 있어서, 상기 수용부는 상기 기판의 제1 면에서 내측으로 형성되는 원뿔형, 기둥형, 벽형 중에서 어느 하나의 형상을 갖는 홈 또는 상기 기판의 제1 면과 제2 면을 관통하는 비아홀로 형성되는, 기판 접착력이 향상된 전극패드 구조 제조방법
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