맞춤기술찾기

이전대상기술

반도체 패키지 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019022221
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 패키지는 적어도 하나 이상의 수용홀을 포함하며, 상기 수용홀을 중심으로 일정간격 이격되어, 복수개로 분할된 베이스 기판, 상기 수용홀에 실장되는 적어도 하나 이상의 반도체 칩 및 상기 수용홀의 내측면과 상기 반도체 칩 사이의 이격공간에 형성되는 충진부재를 포함한다.
Int. CL H01L 23/373 (2006.01.01) H01L 23/29 (2006.01.01) H01L 23/053 (2006.01.01) H01L 23/055 (2006.01.01) H01L 23/522 (2006.01.01) H01L 23/498 (2006.01.01) H01L 21/78 (2006.01.01) H01L 23/48 (2006.01.01)
CPC H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01) H01L 23/3736(2013.01)
출원번호/일자 1020160058995 (2016.05.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1879933-0000 (2018.07.12)
공개번호/일자 10-2017-0127979 (2017.11.22) 문서열기
공고번호/일자 (20180719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.13)
심사청구항수 13

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김준철 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김동수 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 육종민 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 청운특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층 (서초동, 장생빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0460025-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1274701-70
4 보정요구서
Request for Amendment
2017.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0000777-29
5 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0003895-30
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0001493-07
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0705889-89
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1186635-02
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1186634-56
10 등록결정서
Decision to grant
2018.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0254403-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
적어도 하나 이상의 수용홀과 상기 수용홀로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 연장홀에 의해 적어도 둘 이상으로 분할되는 베이스 기판;상기 수용홀의 내측면으로부터 이격공간이 형성되도록 상기 수용홀 내부에 실장되는 반도체 칩; 및상기 이격공간 및 상기 연장홀 내에 충진되고, 상기 베이스 기판의 하면을 커버하도록 연장되어 형성되는 충진부재를 포함하며,상기 베이스 기판과 상기 충진부재의 열팽창계수가 상호 상이하고,상기 충진부재는구리(Cu), 니켈(Ni), 주석(Sn) 또는 이들을 포함하는 합금 중 어느 하나로 이루어지는 반도체 패키지
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
청구항 2에 있어서,상기 연장홀은상기 수용홀의 일측면으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제1 연장홀; 및상기 수용홀의 타측면으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제2 연장홀을 포함하는 반도체 패키지
6 6
청구항 5에 있어서,상기 연장홀은상기 수용홀의 일측면으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제1 연장홀; 및상기 수용홀의 일측면에 대향하는 타측면으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제2 연장홀을 포함하는 반도체 패키지
7 7
청구항 6에 있어서,상기 베이스 기판은상기 수용홀의 일측면 중앙으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제1 연장홀과 상기 수용홀의 일측면에 대향하는 타측면 중앙으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제2 연장홀에 의해 분할되어, 'ㄷ'자로 형성되는 제1 기판; 및 상기 수용홀의 일측면 중앙으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제1 연장홀과 상기 수용홀의 일측면에 대향하는 타측면 중앙으로부터 외측방향으로 연장되어 형성되는 제2 연장홀에 의해 분할되어, 'ㄷ'자로 형성되는 제2 기판을 포함하는 반도체 패키지
8 8
청구항 7에 있어서,상기 충진부재는상기 반도체 칩의 하면과 각 측면을 밀봉(encapsulation)하며, 상기 베이스 기판의 하면을 커버하도록 연장되어 형성되는 반도체 패키지
9 9
청구항 8에 있어서,상기 충진부재는상기 반도체 칩의 하면과 각 측면을 밀봉하며, 상기 베이스 기판의 하면을 커버하는 접지부; 및상기 베이스 기판의 하면에 형성되며, 상기 접지부와 전기적으로 분리되는 적어도 하나 이상의 전극부를 포함하는 반도체 패키지
10 10
청구항 9에 있어서,상기 전극부에 대응되는 상기 베이스 기판의 상면영역에, 상기 베이스 기판의 두께방향으로 관통하여 형성되는 적어도 하나 이상의 관통홀을 더 포함하는 반도체 패키지
11 11
청구항 10에 있어서,상기 베이스 기판의 상면에 형성되며, 상기 반도체 칩의 전극패드와 상기 전극부를 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 전극패턴을 더 포함하는 반도체 패키지
12 12
청구항 11에 있어서,상기 전극부는상기 관통홀의 내부에 충진된 상기 충진부재를 통하여, 상기 전극패턴과 전기적으로 연결되는 반도체 패키지
13 13
삭제
14 14
베이스 기판에 적어도 하나 이상의 수용홀과 상기 수용홀의 일측면으로부터 외측방향으로 연장되는 적어도 하나 이상의 연장홀을 형성하는 기판성형단계; 및상기 수용홀에 반도체 칩을 실장하는 반도체 칩 실장단계를 포함하고,상기 수용홀의 내측면과 상기 반도체 칩 사이의 이격공간 및 상기 연장홀에 구리(Cu), 니켈(Ni), 주석(Sn) 또는 이들을 포함하는 합금 중 어느 하나로 이루어지는 충진부재를 충진하고, 상기 베이스 기판의 하면을 커버하도록 상기 충진부재를 연장하여 형성하는 충진부재 형성단계를 더 포함하는 반도체 패키지 제조방법
15 15
청구항 14에 있어서,상기 베이스 기판의 상면에 절연층을 형성하는 절연층 형성단계;상기 절연층 상에, 상기 반도체 칩의 전극패드와 전기적으로 연결되는 전극패턴을 형성하는 전극패턴 형성단계; 및상기 연장홀의 외측 단부를 기준으로 상기 베이스 기판을 절단함으로써, 상기 베이스 기판을 복수의 베이스 기판으로 분할하는 절단단계를 더 포함하는 반도체 패키지 제조방법
16 16
청구항 14에 있어서,상기 기판성형단계는 상기 수용홀의 주변영역에 상기 베이스 기판의 일면을 두께방향으로 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀을 더 형성하고,상기 충진부재 형성단계는 상기 이격공간 및 상기 연장홀을 충진하면서 상기 관통홀을 더 충진하는 반도체 패키지 제조방법
17 17
청구항 16에 있어서,상기 베이스 기판의 하면 일영역을 커버하도록 형성되는 접지부와 상기 접지부와 전기적으로 분리되며, 상기 관통홀과 전기적으로 연결되는 전극부를 형성하는 충진부재 분리단계;상기 베이스 기판의 상면에 절연층을 형성하는 절연층 형성단계;상기 절연층 상에, 일단이 상기 반도체 칩의 전극패드와 연결되고, 타단이 상기 전극부와 연결되는 전극패턴을 형성하는 전극패턴 형성단계; 및상기 연장홀의 외측 단부를 기준으로 상기 베이스 기판을 절단함으로써, 상기 베이스 기판을 복수의 베이스 기판으로 분할하는 절단단계를 더 포함하는 반도체 패키지 제조방법
18 18
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업부 광운대학교 산학협력단 (산업부)산업융합원천(정보통신)기술개발사업 (RCMS)IoT향 다중대역 RF MEMS 소자 원천기술 개발