| 1 |
1
나노 소자 및 나노 공정을 컴퓨팅 장치를 기반으로 제작하는데 관련된 적어도 하나의 사용자 입력을 수신하는 통신부; 및상기 통신부에 전기적으로 연결되며, 상기 사용자 입력에 따라 가상의 공간에서 나노 소자 및 나노 공정의 제작과 관련된 작업을 정의하는 로비(lobby) 페이지, 상기 정의된 작업에 필요한 시편을 준비하는 시편실(sample room) 페이지, 상기 준비된 시편을 나노 공정하는 공정실(processing room) 페이지 및 상기 준비된 시편 또는 상기 나노 공정이 수행된 시편을 분석하는 분석실(analysis room) 페이지 중 적어도 하나의 작업 페이지를 출력하도록 설정하는 제어부;를 포함하는 전자 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 로비 페이지에서 상기 사용자 입력에 따라 프로젝트(project) 및 워크(work) 중 적어도 하나의 작업을 정의하고, 상기 정의된 작업을 관리하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 프로젝트는 복수의 워크로 포함하고, 상기 복수의 워크는 순차적으로 수행되는 복수의 잡(job)을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서,상기 제어부는,상기 복수의 잡 중 기 수행된 잡의 시편을 선택하여 새로운 워크인 워크 브랜치(work branch)를 생성하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 시편실 페이지에서 상기 사용자 입력에 따라 시편의 생성 및 구조제어를 수행하고, 현재 시편의 구조를 3차원적으로 표시하는 시각화 윈도우를 출력하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서,상기 제어부는,상기 시편에 스트레스(stress)를 가하는 변형(strain) 기능, 상기 시편을 3차원 공간상에 반복 배치하여 시편의 크기를 조절하는 클론(clone) 기능, 상기 시편의 일부를 선택하여 고정(fixed) 레이어, 열원(heat reservoir) 레이어 및 자유 레이어를 정의하는 레이어(layer) 기능, 상기 시편의 원자를 개별적으로 선택하여 제거하거나 다른 원자로 치환하는 원자선택(select atom) 기능 및 두 개의 시편 간의 접합계면을 생성하는 접합(junction) 기능 중 적어도 하나 기능을 적용하여 상기 구조제어를 수행하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 공정실 페이지에서 상기 사용자 입력에 따라 시편의 열처리(annealing) 공정, 산화(oxidation) 공정, 박막증착(deposition) 공정, 식각(etching) 공정, 이온주입(implantation) 공정 및 시편의 물리적 화학적 변화 또는 가공하는 공정 중 적어도 하나의 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 공정실 페이지에서 초기 시편의 구조 및 공정이 완료된 최종 시편의 구조가 표시되는 시각화 윈도우를 각각 출력하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 제어부는,상기 초기 시편의 구조에서 상기 최종 시편의 구조로 변화하는 모습을 동영상으로 출력하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 10 |
10
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 분석실 페이지에서 상기 사용자 입력에 따라 공정이 완료된 시편을 시뮬로스코프(simuloscope), 원자간력현미경(atomic force microscope, AFM), 주사형 터널현미경(scanning tunneling microscope, STM), 동경분포함수(radial distribution function), 상태밀도(density of states), 전하분포(differential electron density), 양자수송(quantum transport) 및 시편의 구조적 전자적 특성 분석 또는 물성 분석 중 적어도 하나의 분석에 대한 결과를 출력하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 11 |
11
제 1항에 있어서,상기 제어부는,상기 분석실 페이지에서 현재 시편 및 분석결과가 표시되는 시각화 윈도우를 각각 출력하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 전자 장치
|
| 12 |
12
나노 소자 및 나노 공정을 컴퓨팅 장치를 기반으로 제작하는데 이용되며, 가상의 공간에서 상기 나노 소자 및 나노 공정의 제작과 관련된 작업을 정의하는 로비 페이지를 출력하는 단계;외부 사용자 단말로부터 사용자 입력을 수신하는 단계; 및상기 사용자 입력에 따라 상기 정의된 작업에 필요한 시편을 준비하는 시편실 페이지, 상기 준비된 시편을 나노 공정하는 공정실 페이지 및 상기 준비된 시편 또는 상기 나노 공정이 수행된 시편을 분석하는 분석실 페이지 중 적어도 하나의 작업 페이지를 출력하는 단계;를 포함하는 가상 실험을 이용한 나노 소자 시뮬레이션 방법
|
