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평판 위에 도포된 액막으로 빛을 조사하기 위한 광원;상기 평판의 표면 및 상기 액막의 표면 각각에서 반사된 2 갈래의 빛을 감지하기 위한 수광부; 및상기 수광부에서 감지된 정보에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 제어부를 포함하고,상기 수광부는, 설정 곡률을 갖는 구형의 일부분의 형상을 갖고,상기 광원은 구형의 곡률 중심점을 향하여 빛을 조사하고,상기 제어부는,상기 광원에서 조사되는 빛의 각도, 상기 액막의 굴절률 및 상기 2 갈래의 빛의 간격에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 액막 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원은 발진 파장의 범위가 0
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 설정 곡률을 갖는 구형의 내면을 갖는 측정 케이스를 더 포함하고,상기 수광부는 상기 내면에 설치되는 액막 두께 측정 장치
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제 4 항에 있어서,상기 측정 케이스의 내면의 곡률 중심점을 상기 평판에 수직하게 지나는 가상의 선을 기준으로, 상기 광원은 상기 수광부의 반대편에 설치되는 액막 두께 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 제어부는,상기 반사된 2 갈래의 빛 중 더 높은 위치의 수광부에서 감지되는 빛의 위치 정보와, 상기 광원으로부터 조사되는 빛의 연장선 및 상기 측정 케이스의 내면이 만나는 지점의 위치 정보에 기초하여, 상기 액막의 표면의 기울기를 결정하는 액막 두께 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 제어부는,상기 설정 곡률, 상기 액막의 굴절률, 상기 반사된 2 갈래의 빛의 간격 및 상기 액막의 표면의 기울기에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 액막 두께 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 측정 케이스의 곡률 중심점이 상기 액막의 표면 상에 위치하도록, 상기 측정 케이스를 상기 평판에 대하여 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 수직 방향 스테이지를 더 포함하는 액막 두께 측정 장치
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제 8 항에 있어서,상기 측정 케이스의 곡률 중심점이 상기 액막의 표면 중 희망하는 지점에 위치하도록, 상기 측정 케이스를 상기 평판에 대하여 수평한 방향으로 이동시킬 수 있는 수평 방향 스테이지를 더 포함하는 액막 두께 측정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 광원의 조사 지점을 확인할 수 있는 카메라를 더 포함하는 액막 두께 측정 장치
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제 10 항에 있어서,사용자로부터 상기 액막의 표면 중 측정을 희망하는 설정 위치를 입력 받을 수 있는 입력부를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 카메라에서 촬영된 이미지로부터 상기 광원의 조사 지점 및 상기 설정 위치의 오차를 계산하여, 상기 수직 방향 스테이지 및 상기 수평 방향 스테이지를 제어함으로써, 상기 광원의 조사 지점을 상기 설정 위치로 정렬시키는 액막 두께 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 측정 케이스의 내면을 따라 이동 가능하고, 상기 광원이 상기 측정 케이스의 곡률 중심점을 향하여 빛을 조사하도록 가이드하는 가이드 장치를 더 포함하는 액막 두께 측정 장치
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제 12 항에 있어서,상기 수광부는, 상기 광원으로부터 조사되는 빛의 연장선 및 상기 측정 케이스의 내면이 만나는 교차 영역의 상하 면적보다 넓은 상하 면적을 갖고,상기 수광부의 최대 높이에서 상기 교차 영역의 최대 높이를 뺀 값은, 상기 교차 영역의 최소 높이에서 상기 수광부의 최소 높이를 뺀 값보다 작은 액막 두께 측정 방법
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평판 위에 액체를 뿌리는 액막 도포 단계;상기 뿌려진 액체가 상기 평판 위에 형성하는 액막으로 빛을 조사하는 빛 조사 단계;상기 평판의 표면 및 상기 액막의 표면 각각에서 반사된 2 갈래의 빛을 감지하는 빛 감지 단계;상기 반사된 2 갈래의 빛 중 더 높은 위치에서 감지된 빛이 기준 위치를 벗어났는지 여부에 기초하여, 상기 액막이 상기 평판에 수평한지 여부를 결정하는 수평 확인 단계; 및상기 감지된 정보에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 액막 두께 결정 단계를 포함하는 액막 두께 측정 방법
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삭제
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평판 위에 액체를 뿌리는 액막 도포 단계;상기 뿌려진 액체가 상기 평판 위에 형성하는 액막으로 빛을 조사하는 빛 조사 단계;상기 평판의 표면 및 상기 액막의 표면 각각에서 반사된 2 갈래의 빛을 감지하는 빛 감지 단계;상기 반사된 2 갈래의 빛 중 더 높은 위치에서 감지된 빛이 기준 위치에서 벗어난 정도를 고려하여, 상기 액막의 표면의 기울기를 결정하는 액막 기울기 결정 단계; 및상기 감지된 정보에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 액막 두께 결정 단계를 포함하는 액막 두께 측정 방법
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제 16 항에 있어서,상기 액막 두께 결정 단계는,상기 액막의 굴절률, 상기 반사된 2 갈래의 빛의 간격 및 상기 액막의 표면의 기울기에 기초하여 상기 액막의 두께를 결정하는 액막 두께 측정 방법
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