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유기열센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019023830
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명인 유기열센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 게이트 전극, 상기 게이트 전극 상에 형성되는 게이트 절연층, 상기 게이트 절연층 상에 형성된 유기 반도체층, 상기 유기 반도체층 상에 형성된 제2차 빛차단층, 상기 제2차 빛차단층 내에 형성되는 소스 전극 및 드레인 전극 및 상기 제2차 빛차단층 상에 형성된 제1차 빛차단층을 포함한다. 본 발명은 제1차 빛차단층에 의하여 빛의 간섭을 최소화하여 정밀한 열 감지를 할 수 있는 유기열센서 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL G01K 7/01 (2006.01.01) H01L 51/05 (2006.01.01)
CPC G01K 7/015(2013.01) G01K 7/015(2013.01)
출원번호/일자 1020170153040 (2017.11.16)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1963047-0000 (2019.03.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190327) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.16)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영규 대구광역시 수성구
2 김화정 대구광역시 수성구
3 송명훈 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2 이형석 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1139972-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2018-0027455-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0511433-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0837826-18
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0837804-14
8 등록결정서
Decision to grant
2019.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0133715-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유기 트랜지스터를 활용하는 유기열센서에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성되며, 상기 게이트 전극의 일부를 둘러싸는 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 상에 형성된 유기 반도체층;상기 유기 반도체층 상에 형성된 제2차 빛차단층;상기 제2차 빛차단층 내에 형성되며, 배면이 유기 반도체층과 접하는 소스 전극 및 드레인 전극; 및상기 제2차 빛차단층 상에 형성된 제1차 빛차단층;을 포함하고, 상기 제1차 및 제2차 빛차단층은 유기 반도체층에 도달하는 빛을 차단하는 것을 특징으로 하는 유기열센서
2 2
제1항에 있어서,상기 기판은 유리, 플라스틱, 사파이어, 석영, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리비닐알콜, 폴리아크릴레이트, 폴리이미드, 폴리노르보넨 및 폴리에테르선폰으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기열센서
3 3
제1항에 있어서,상기 게이트 절연층은 산화 알루미늄, 산화 이트륨, 산화 아연, 산화 하프뮴, 산화 지르코늄, 산화 탄탈륨 및 산화 티타늄으로 이루어진 무기물; 또는비닐계 고분자, 스티렌계 고분자, 아크릴계 고분자, 에폭시계 고분자, 에스테르계 고분자, 페놀계 고분자, 이미드계 고분자 및 사이클로 알켄으로 이루어진 유기물로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기열센서
4 4
제1항에 있어서,상기 제2차 빛차단층은 유기 반도체층인 것을 특징으로 하는 유기열센서
5 5
제1항 또는 제4항에 있어서,상기 유기반도체층은 액정 폴리플루오렌 블록공중합체, 펜타센 및 폴리사이오핀으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기열센서
6 6
제1항에 있어서,상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극 각각은 알루미늄(Al), 이트륨(Y), 아연(Zn), 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기열센서
7 7
제1항에 있어서,상기 제1차 빛차단층의 두께는 100 nm 내지 100 μm인 것을 특징으로 하는 유기열센서
8 8
제1항에 있어서,상기 제1차 빛차단층의 빛 차단율이 99 % 이상인 것을 특징으로 하는 유기열센서
9 9
제1항에 있어서,상기 제1차 빛차단층은 빛 흡수층인 것을 특징으로 하는 유기열센서
10 10
제9항에 있어서,상기 빛 흡수층은 아연(Zn), 바나듐(V), 몰레브데넘(Mo), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 크로뮴(Cr), 나이오븀(Nb), 이들의 합금, 산화물, 질화물, 탄소화합물 및 카본블랙으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기열센서
11 11
제1항에 있어서,상기 제1차 빛차단층은 빛 반사층인 것을 특징으로 하는 유기열센서
12 12
제11항에 있어서,상기 빛 반사층은 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 금(Au), 이리듐(Ir), 하프늄(Hf), 구리(Cu), 이들의 합금, 산화물, 질화물 및 탄소화합물로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기열센서
13 13
유기 트랜지스터를 활용하는 유기열센서의 제조방법에 있어서,기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극을 포함한 기판 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계;상기 게이트 절연층 상에 유기 반도체층을 형성하는 단계;상기 유기 반도체층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스 전극 및 드레인 전극이 형성된 유기 반도체층 상에 제2차 빛차단층을 형성하는 단계; 및상기 제2차 빛차단층 상에 제1차 빛차단층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제1차 및 제2차 빛차단층은 유기 반도체층에 도달하는 빛을 차단하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 유기열센서 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 게이트 절연층을 형성하는 단계는 물리기상증착법, 화학기상증착법, 레이저 어블레이션 및 졸-겔 스핀코팅법으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나의 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기열센서 제조방법
15 15
제13항에 있어서,상기 유기 반도체층 또는 제2차 빛차단층을 형성하는 단계는 물리기상증착법, 화학기상증착법, 승화법, 용액법, 열증발법, 유기분자빔증착법, 스핀코팅법 및 딥코팅법으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나의 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기열센서 제조방법
16 16
제13항에 있어서,상기 제1차 빛차단층의 두께는 100 nm 내지 100 μm인 것을 특징으로 하는 유기열센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.