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기판(110);상기 기판(110) 상에 형성된 게이트 전극(120);상기 게이트 전극(120) 상에 형성된 게이트 절연층(130);상기 게이트 절연층(130) 상에 유기반도체로 형성된 구동층(160);상기 구동층(160) 내에 형성된 소스 전극(140) 및 드레인 전극(150); 및상기 구동층(160) 상에 형성되며, 고분자 매트릭스와 액정분자가 혼합된 액정층(170)을 포함하며,상기 게이트 절연층(130)은 폴리비닐리덴플루오라이드-트리플루오로에틸렌-클로로플루오로에틸렌을 포함하는 제 1 게이트 절연층(131) 및 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리스타이렌(PS), 폴리디메틸실록산(PDMS), 폴리비닐페놀(PVP), 폴리메틸페닐실록산(PMPS)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 고분자를 포함하는 제 2 게이트 절연층(132)의 이중층으로 형성되고,상기 구동층(160)은 N2200(Poly{[N,N′-bis(2-octyldodecyl)-naphthalene-1,4,5,8-bis(dicarboximide)-2,6-diyl]-alt-5,5′-(2,2′-bithiophene)}), PDVT-10(Poly{3,6-dithiophen-2-yl-2,5-di(2-decyltetradecyl)-pyrrolo[3,4-c]pyrrole-1,4-dione-alt-thienylenevinylene-2,5-yl}), PDPPBTT(Poly{2,2'-(2,5-bis(2-octyldodecyl)-3,6-dioxo-2,3,5,6-tetrahydropyrrolo[3,4-c]pyrrole-1,4-diyl)dithieno[3,2-b]thiophene-5,5'-diyl-alt-thiophen-2,5-diyl}), PBDTTT-C16(Poly[1-(6-{4,8-bis[(2-ethylhexyl)oxy]-6-methylbenzo[1,2-b:4,5-b′]dithiophen-2-yl})으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상이고,상기 액정층(170)에 포함된 액정분자는 7CB(4'-Heptyl-4-biphenylcarbonitrile), 80CB(4'-Octacontanyl-4-biphenylcarbonitrile), 5-OCB(4′-(Pentyloxy)-4-biphenylcarbonitrile)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상으로 형성되어, 상기 액정층(170)의 표면상에 가해지는 물리적 자극, 기체 흐름, 빛 및 열 중에서 동시에 어느 하나 이상의 자극을 감지하는 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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제 1 항에 있어서,상기 액정층(170)에 물리적 자극 또는 기체 흐름이 가해지면 상기 액정층(170)의 액정분자의 배향이 변하는 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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제 6 항에 있어서, 상기 액정층(170) 내 액정분자의 배향 변화에 따라 상기 구동층(160) 내의 전류값이 변하는 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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제 1 항에 있어서,상기 고분자 매트릭스는 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트), PS(폴리스타이렌), PDMS(폴리디메틸실록산), PVP(폴리비닐페놀), PMPS(폴리메틸페닐실록산) 중 어느 하나 이상의 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 고분자 매트릭스 및 상기 액정분자의 상기 액정층(170) 내 함유량은 40:20 내지 40:60 중량비인 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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제 1 항에 있어서,상기 고분자 매트릭스 및 상기 액정분자의 상기 액정층(170) 내 함유량은 40:40 중량비인 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서
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기판(110)을 준비하는 단계;상기 기판(110) 상에 게이트 전극(120)을 형성하는 단계;상기 게이트 전극(120) 상에 게이트 절연층(130)을 형성하는 단계;상기 게이트 절연층(130) 상에 유기반도체로 구동층(160)을 형성하는 단계;상기 구동층(160) 내에 소스 전극(140) 및 드레인 전극(150)을 형성하는 단계; 및상기 구동층(160) 상에 고분자와 액정분자를 혼합하여 액정층(170)을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 게이트 절연층(130)은 폴리비닐리덴플루오라이드-트리플루오로에틸렌-클로로플루오로에틸렌을 포함하는 제 1 게이트 절연층(131) 및 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리스타이렌(PS), 폴리디메틸실록산(PDMS), 폴리비닐페놀(PVP), 폴리메틸페닐실록산(PMPS)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 고분자를 포함하는 제 2 게이트 절연층(132)의 이중층으로 형성되고,상기 구동층(160)은 N2200(Poly{[N,N′-bis(2-octyldodecyl)-naphthalene-1,4,5,8-bis(dicarboximide)-2,6-diyl]-alt-5,5′-(2,2′-bithiophene)}), PDVT-10(Poly{3,6-dithiophen-2-yl-2,5-di(2-decyltetradecyl)-pyrrolo[3,4-c]pyrrole-1,4-dione-alt-thienylenevinylene-2,5-yl}), PDPPBTT(Poly{2,2'-(2,5-bis(2-octyldodecyl)-3,6-dioxo-2,3,5,6-tetrahydropyrrolo[3,4-c]pyrrole-1,4-diyl)dithieno[3,2-b]thiophene-5,5'-diyl-alt-thiophen-2,5-diyl}), PBDTTT-C16(Poly[1-(6-{4,8-bis[(2-ethylhexyl)oxy]-6-methylbenzo[1,2-b:4,5-b′]dithiophen-2-yl})으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상이고,상기 액정층(170)에 포함된 액정분자는 7CB(4'-Heptyl-4-biphenylcarbonitrile), 80CB(4'-Octacontanyl-4-biphenylcarbonitrile), 5-OCB(4′-(Pentyloxy)-4-biphenylcarbonitrile)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상으로 형성되어, 상기 액정층(170)의 표면상에 가해지는 물리적 자극, 기체 흐름, 빛 및 열 중에서 동시에 어느 하나 이상의 자극을 감지하는 것을 특징으로 하는 다기능 유연 센서 제조방법
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