1 |
1
기판;상기 기판 상에 배치되고 다수의 환원 그래핀 옥사이드(rGO) 시트들과 MXene 시트들을 포함하는 맥신/그래핀 하이브리드 감지부; 및상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부의 양측 단부들에 전기적으로 접속하는 한 쌍의 전극들을 구비하는 기체 센서
|
2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 GO 시트들은 수 ㎛의 크기를 갖고,상기 MXene 시트들도 수 ㎛의 크기를 갖는 기체 센서
|
3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는 맥신/그래핀 하이브리드 섬유이고,상기 섬유의 두께 방향으로 상기 rGO 시트들이 적층되고, 섬유의 길이방향으로 상기 rGO 시트들의 면들이 배향된 상태에서 상기 rGO 시트들이 연속하여 배치되고,상기 MXene 시트들은 상기 rGO 시트들 사이사이에 배치되어, 상기 rGO 시트들과 상기 MXene 시트들은 층상 조립(layer-by-layer assembly) 구조를 갖는 기체 센서
|
4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는 맥신/그래핀 하이브리드 필름이고,상기 필름의 두께 방향으로 상기 rGO 시트들이 적층되고, 필름의 면방향으로 상기 rGO 시트들의 면들이 배향되고,상기 MXene 시트들은 상기 rGO 시트들 사이사이에 배치되어, 상기 rGO 시트들과 상기 MXene 시트들은 층상 조립(layer-by-layer assembly) 구조를 갖는 기체 센서
|
5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는 rGO 대비 작고 MXene 대비 큰 밴드갭을 갖는 기체 센서
|
6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는 MXene 시트와 rGO 시트의 합계 중량에 대해 MXene 시트를 20 wt% 이상 50 wt% 미만으로 함유하는 기체 센서
|
7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는, Ti 2p XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 스펙트럼에서, Ti-O 피크들 중 적어도 일부의 피크가 Ti(II, III) 피크들 또는 Ti-C 피크들 중 적어도 하나의 피크 대비 세기가 더 큰 기체 센서
|
8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 맥신/그래핀 하이브리드 감지부는,C 1s XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 스펙트럼에서, C-C 피크는 C-O 피크 대비 세기가 더 큰 기체 센서
|
9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 기체 센서의 센싱 대상 기체는 NH3인 기체 센서
|