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웨이퍼 이송 모듈의 구동 벨트 검사 장치에 있어서,상기 구동 벨트와 연결된 모터의 전류 데이터를 입력 받는 데이터 입력부;상기 전류 데이터에 기초하여 상기 모터의 순간 전류 변화율을 연산하고, 상기 순간 전류 변화율에 기초하여 검사를 위한 연산 값을 연산하도록 구성된 연산부; 및상기 연산 값이 제1 기준 값 이하이면 상기 구동 벨트를 정상 상태로 판단하고, 상기 연산 값이 제2 기준 값 이상이면 상기 구동 벨트를 비정상 상태로 판단하며, 상기 연산 값이 상기 제1 기준 값과 상기 제2 기준 값 사이일 때, 상기 구동 벨트가 상기 정상 상태 또는 상기 비정상 상태인지 여부의 판단을 보류하도록 구성된 결과 판단부;를 포함하는 구동 벨트 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 연산 값은,순차적 확률비 검정 시험(Sequential Probability Ratio Test)에 의해 검증되기 위해 연산된 값인 구동 벨트 검사 장치
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제2 항에 있어서,상기 연산 값은,상기 순간 전류 변화율의 평균과 분산에 기초하여 연산된 값인 구동 벨트 검사 장치
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제3 항에 있어서,상기 순간 전류 변화율의 평균과 분산에 대한 변화가 반영되어 상기 연산 값이 연산되도록 구성된 구동 벨트 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 연산부는,상기 결과 판단부에 의한 판단이 보류될 때, 상기 전류 데이터 및 상기 전류 데이터에 후행하는 전류 데이터에 기반하여 상기 연산 값을 재연산하도록 구성된 구동 벨트 검사 장치
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웨이퍼 이송 모듈의 구동 벨트 검사 방법에 있어서,상기 구동 벨트와 연결된 모터의 전류 데이터를 입력 받는 단계;상기 전류 데이터에 기초하여 상기 모터의 순간 전류 변화율을 연산하고, 상기 순간 전류 변화율에 기초하여 검사를 위한 연산 값을 연산하는 단계; 및상기 연산 값이 제1 기준 값 이하이면 상기 구동 벨트를 정상 상태로 판단하고, 상기 연산 값이 제2 기준 값 이상이면 상기 구동 벨트를 비정상 상태로 판단하며, 상기 연산 값이 상기 제1 기준 값과 상기 제2 기준 값 사이일 때, 상기 구동 벨트가 상기 정상 상태 또는 상기 비정상 상태인지 여부의 판단을 보류하도록 하는 단계;를 포함하는 구동 벨트 검사 방법
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제7 항에 있어서,상기 연산 값은,순차적 확률비 검정 시험(Sequential Probability Ratio Test)에 의해 검증되기 위해 연산된 값인 구동 벨트 검사 방법
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제8 항에 있어서,상기 연산 값은,상기 순간 전류 변화율의 평균과 분산에 기초하여 연산된 값인 구동 벨트 검사 방법
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제9 항에 있어서,상기 순간 전류 변화율의 평균과 분산에 대한 변화가 반영되어 상기 연산 값이 연산되도록 구성된 구동 벨트 검사 방법
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제7 항에 있어서,상기 판단이 보류될 때, 상기 전류 데이터 및 상기 전류 데이터에 후행하는 전류 데이터에 기반하여 상기 연산 값을 재연산하는 단계를 포함하는 구동 벨트 검사 방법
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