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다축 감지용 촉각센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014002885
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 다축 감지용 촉각센서는 복수의 가로축 압저항 전극과 복수의 세로축 압저항 전극은 상이한 층에서 직교하며, 상기 복수의 가로축 압저항 전극과 상기 복수의 세로축 압저항 전극은 절연층에 의해 절연되고, 상기 복수의 가로축 압저항 전극과 상기 복수의 세로축 압저항 전극이 교차하는 4개의 교차부분을 포함하여 형성되는 돌출부를 포함하는 구조이다.따라서, 본 발명에 따른 촉각센서는 여러방향의 축에서 인가되는 힘을 감지할 수 있어 센서의 정확도를 더욱 향상시킬 수 있으며, 그 재질을 변형이 용이하고 복원력이 우수한 탄성체로 형성하고 이와 더불어 하부면에 캐비티 구조를 형성함으로써 촉각센서의 감도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 다축 감지, 촉각센서, 돌출부, 캐비티
Int. CL G01L 1/20 (2006.01)
CPC G01L 1/20(2013.01) G01L 1/20(2013.01) G01L 1/20(2013.01)
출원번호/일자 1020060039997 (2006.05.03)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0809285-0000 (2008.02.26)
공개번호/일자 10-2007-0107458 (2007.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20080304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.03)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박광범 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 김건년 대한민국 경기 오산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0314216-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0027962-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0289794-57
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0556771-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0556796-98
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0651105-78
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 평행하게 배열된 복수의 가로축 압저항 전극;상기 복수의 가로축 압저항 전극 위쪽에 위치하고, 서로 평행하게 배열된 복수의 세로축 압저항 전극;상기 복수의 가로축 압저항 전극과 상기 복수의 세로축 압저항 전극 사이의 절연층; 및상기 세로축 압저항 전극 위쪽에 위치하는 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는 두 개의 상기 세로축 압저항 전극과 두 개의 상기 가로축 압저항 전극에 의한 사각형 영역에 형성된 것을 특징으로 하는 다축 감지용 촉각센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 촉각센서의 하부에는 캐비티가 형성되어 있는 다축 감지용 촉각센서
3 3
제 1 항에 있어서,상기 세로축 압저항 전극 상에는 상기 세로축 압저항 전극의 보호를 위한 절연층이 형성되어 있는 다축 감지용 촉각센서
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 가로축 압저항 전극 및 세로축 압저항 전극은 니켈크롬(NiCr) 또는 구리니켈크롬(CuNiCr)인 다축 감지용 촉각센서
6 6
제 1 항에 있어서,상기 돌출부는 실리콘 고무 또는 PDMS인 다축 감지용 촉각센서
7 7
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 절연층은 실리콘 고무 또는 PDMS인 다축 감지용 촉각센서
8 8
기판의 상부에 서로 평행하게 배열된 복수의 가로축 압저항 전극을 형성하는 단계;상기 가로축 압저항 전극이 형성된 기판의 전면에 제1절연층을 형성하는 단계;상기 제1절연층의 상부에 상기 가로축 압저항 전극과 직교하고, 서로 평행하게 배열된 복수의 세로축 압저항 전극을 형성하는 단계;상기 세로축 압저항 전극이 형성된 기판의 전면에 제2절연층을 형성하는 단계;두 개의 상기 세로축 압저항 전극과 두 개의 상기 가로축 압저항 전극에 의한 사각형 영역에 돌출부를 형성하는 단계; 및상기 기판의 하부에 캐비티를 형성하는 단계를 포함하는 다축 감지용 촉각센서 제조방법
9 9
기판의 하부에 캐비티를 형성하는 단계;기판의 상부에 서로 평행하게 배열된 복수의 가로축 압저항 전극을 형성하는 단계;상기 가로축 압저항 전극이 형성된 기판의 전면에 제1절연층을 형성하는 단계;상기 제1절연층의 상부에 상기 가로축 압저항 전극과 직교하고, 서로 평행하게 배열된 복수의 세로축 압저항 전극을 형성하는 단계;상기 세로축 압저항 전극이 형성된 기판의 전면에 제2절연층을 형성하는 단계; 및두 개의 상기 세로축 압저항 전극과 두 개의 상기 가로축 압저항 전극에 의한 사각형 영역에 돌출부를 형성하는 단계를 포함하는 다축 감지용 촉각센서 제조방법
10 10
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 고무 또는 PDMS인 다축 감지용 촉각센서 제조방법
11 11
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 가로축 압저항 전극 및 세로축 압저항 전극은 니켈크롬(NiCr) 또는 구리니켈크롬(CuNiCr)으로 형성하는 다축 감지용 촉각센서 제조방법
12 12
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 제1절연층 및 제2절연층은 실리콘 고무 또는 PDMS으로 형성하는 다축 감지용 촉각센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.