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정전분무 화염증착법을 이용한 박막 제조 장치

  • 기술번호 : KST2014007779
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 세라믹 및 금속 폴리머 박막 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 세라믹 및 금속 폴리머 박막을 제공함에 있어서 기존의 졸-겔법, CVD/PVD법, 그리고 에어로졸 기술을 이용한 화염증착법이나 정전 스프레이 박막 제조법과 비교하여 보다 경제적이고 박막 미세구조 제어 성능이 우수하며 고품질의 다성분계 박막을 제공하는 것을 특징으로 하는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막과 후막 제조장치에 관한 것으로,메탄이나 아세틸렌등의 가스연료와 산소 등의 산화제를 통과시켜 하단에 화염을 형성시키는 벌집형태의 허니콤 버너와; 상기 허니콤 버너에 산화제를 공급하는 산화제 공급장치와; 상기 하니콤 버너의 일측에 관통하여 설치되며, 전구체 용액을 이송시키는 노즐 형태의 모세관과; 상기 모세관을 통해 전구체 용액을 공급하는 주사기 펌프와; 상기 모세관 출력단에 일정거리 이격되어 설치되며, 모세관 전극으로부터 출력되는 전구체가 허니콤 버너의 출력단에 형성되는 화염에 의해 증발 및 화학 반응이 유도된후 박막 형태로 고착되도록 하는 기판을 포함하여 구성함이 특징이다.정전분무, 화염증착법, 박막, 제조
Int. CL C23C 16/453 (2006.01) C23C 16/00 (2006.01)
CPC C23C 16/453(2013.01) C23C 16/453(2013.01) C23C 16/453(2013.01) C23C 16/453(2013.01)
출원번호/일자 1020050039244 (2005.05.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0684275-0000 (2007.02.12)
공개번호/일자 10-2006-0117461 (2006.11.17) 문서열기
공고번호/일자 (20070220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.05.11)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상수 대한민국 대전 유성구
2 박형호 대한민국 대전 유성구
3 오현철 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2005-0246260-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0043734-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0477332-53
5 의견서
Written Opinion		 2006.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0763400-00
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0763946-16
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0017051-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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메탄이나 아세틸렌등의 가스연료와 산소 등의 산화제를 통과시켜 하단에 화염을 형성시키는 벌집형태의 허니콤 버너와; 상기 허니콤 버너에 산화제를 공급하는 산화제 공급장치와; 상기 하니콤 버너의 일측에 관통하여 설치되며, 전구체 용액을 이송시키는 노즐 형태의 모세관과; 상기 모세관을 통해 전구체 용액을 공급하는 주사기 펌프와; 상기 모세관 출력단에 일정거리 이격되어 설치되는 기판을 포함하여 구성되는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막 제조장치에 있어서,상기 기판은 평판 예혼합 화염을 사용하여 증발 및 화학반응을 유도하고,상기 모세관의 외벽은 실리카 또는 세라믹으로 코팅되며,상기 기판의 하부에는 가열용 히팅장치를 더 부착하여 이루어진 것을 특징으로 하는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막제조장치
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