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ＳＡＷ 소자를 이용한 가스 감지센서 및 그 감지방법

  • 기술번호 : KST2014009209
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 표면탄성파(SAW) 소자에서 측정된 전기신호와 도전성 부재에서의 전기신호 간의 측정시간 동기화를 이용하여 가스감지에 대한 민감도 향상 및 반응시간 단축을 도모할 수 있도록 하는 가스 감지센서 및 그 감지방법이 제시된다. 본 발명의 가스 감지센서는, 압전기판과 그 압전기판 상에 형성된 입력 및 출력 IDT를 포함하며, 상기 입력 IDT에 인가된 전기신호가 압전기판에 의해 표면탄성파로 변환되고 상기 압전기판을 통해 상기 출력 IDT에 전기신호로 전달되는 SAW 소자; 상기 SAW 소자 상에 상기 입력 및 출력 IDT 사이에 형성되며, 가스노출에 빠르고 민감하게 반응하여 전기적 변화를 일으키는 도전성 부재; 상기 출력 IDT에 전달된 전기신호를 검출하는 제1신호검출부; 상기 도전성 부재에서의 전기신호를 검출하는 제2신호검출부; 및 상기 제1 신호검출부 및 제2 신호검출부에서 각각 검출된 전기신호에 대하여 그 검출시간을 동기화하고, 가스노출에 따른 상기 동기화된 두 전기신호의 변화를 분석하여 상기 가스노출을 감지하는 신호분석부를 포함한다. 표면탄성파(SAW)소자, IDT, 가스, 센서, 민감도, 반응시간, 동기화
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) B28Y 15/00 (2011.01) G01N 29/00 (2006.01)
CPC G01N 29/022(2013.01) G01N 29/022(2013.01) G01N 29/022(2013.01) G01N 29/022(2013.01) G01N 29/022(2013.01)
출원번호/일자 1020090002263 (2009.01.12)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1025715-0000 (2011.03.22)
공개번호/일자 10-2010-0082956 (2010.07.21) 문서열기
공고번호/일자 (20110404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.12)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울특별시 마포구
2 이준민 대한민국 경기도 성남시 수정구
3 전계진 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0016839-11
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0432495-55
3 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2009.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0059232-53
4 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2009.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0069471-37
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.11.02 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0672797-01
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0677187-21
7 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2009.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0679998-89
8 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2009.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0083348-58
9 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2009.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0085136-22
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0691071-63
11 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.01.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
12 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0009617-06
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0123928-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
압전기판과 그 압전기판 상에 형성된 입력 및 출력 IDT를 포함하며, 상기 입력 IDT에 인가된 전기신호가 압전기판에 의해 표면탄성파로 변환되고 상기 압전기판을 통해 상기 출력 IDT에 전기신호로 전달되는 SAW 소자; 상기 SAW 소자 상에 상기 입력 및 출력 IDT 사이에 형성되며, 가스노출에 빠르고 민감하게 반응하여 전기적 변화를 일으키는 도전성 부재; 상기 출력 IDT에 전달된 전기신호를 검출하는 제1신호검출부; 상기 도전성 부재에서의 전기신호를 검출하는 제2신호검출부; 상기 제1 신호검출부 및 제2 신호검출부에서 각각 검출된 전기신호에 대하여 그 검출시간을 동기화하고, 가스노출에 따른 상기 동기화된 두 전기신호의 변화를 분석하여 상기 가스노출을 감지하는 신호분석부; 를 포함하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 신호분석부는 상기 동기화된 두 전기신호에서 상기 제2신호검출부의 전기신호 변화에 대응되는 상기 제1신호검출부의 전기신호 변화를 이용하여 상기 가스노출을 감지하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
3 3
청구항 1에 있어서, 제1신호검출부는 상기 출력 IDT에 도달하는 전기신호에 대하여 주파수, 위상, 진폭 중 적어도 어느 하나의 신호로 검출하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 제2신호검출부는 상기 도전성 부재에 대하여 전압, 전류, 저항, 전기용량 중 적어도 어느 하나의 신호로 검출하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 도전성 부재는 탄소나노튜브(CNT), 금속산화물(metal oxide:MO) 또는 폴리머(polymer) 중 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 금속산화물은 Sn, Zn, Al, Si In, Ti, Cr, Fe, Ni, Zr 중 선택된 어느 하나의 산화물인 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 신호분석부는 다수의 가스의 종류별로 주파수, 위상, 진폭 중 선택된 적어도 하나의 신호를 미리 저장하고 있으며, 상기 SAW 신호검출부에서 검출된 전기신호와 상기 미리 저장된 신호를 이용하여 상기 노출된 가스의 종류를 분석하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
8 8
청구항 1에 있어서, 상기 신호분석부는 다수의 가스의 종류별로 전압, 전류, 저항, 전기용량 중 선택된 적어도 하나의 신호를 미리 저장하고 있으며, 상기 도전성 부재 신호검출부에서 검출된 전기신호와 상기 미리 저장된 신호를 이용하여 상기 노출된 가스의 종류를 분석하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지센서
9 9
압전기판과 그 압전기판 상에 형성된 입력 및 출력 IDT를 포함하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법에 있어서, 상기 SAW 소자 상에 가스노출에 빠르고 민감하게 반응하여 전기적 변화를 일으키는 도전성 부재를 형성하는 단계; 상기 출력 IDT로 출력되는 전기신호를 검출하는 단계; 상기 도전성 부재에서의 전기신호를 검출하는 단계; 및 상기 각각 검출된 전기신호에 대하여 그 검출시간을 동기화하고, 가스노출에 따른 상기 동기화된 두 전기신호의 변화를 분석하여 상기 가스노출을 감지하는 단계; 를 포함하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 가스노출을 감지하는 단계는, 상기 동기화된 두 전기신호에서 상기 도전성 부재에서의 전기신호 변화에 대응되는 상기 출력 IDT의 전기신호 변화를 이용하여 상기 가스노출을 감지하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
11 11
청구항 9에 있어서, 상기 출력 IDT에서의 전기신호를 검출하는 단계는, 상기 전기신호에 대하여 주파수, 위상, 진폭 중 적어도 어느 하나의 신호로 검출하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
12 12
청구항 9에 있어서, 상기 도전성 부재에서의 전기신호를 검출하는 단계는, 상기 도전성 부재에 대하여 전압, 전류, 저항, 전기용량 중 적어도 어느 하나의 신호로 검출하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
13 13
청구항 9에 있어서, 상기 도전성 부재는 탄소나노튜브(CNT), 금속산화물(metal oxide:MO) 또는 폴리머(polymer) 중 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
14 14
청구항 13에 있어서, 상기 금속산화물은 Sn, Zn, Al, Si In, Ti, Cr, Fe, Ni, Zr 중 선택된 어느 하나의 산화물인 것을 특징으로 하는 SAW 소자를 이용한 가스 감지방법
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1 국방부 / 서울특별시 연세대학교 산학협력단 용역 / 서울시 산학연 협력사업(2006년 기술瘦반구축瀯態) 화학/생물학 작용제 탐지용 나노 센서 연구(국방나노응용특화연구센터) /나노기술을이용한 바이오 융합산업 혁신 클러스터