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박막 성장방법
- 기술번호 : KST2014028214
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 박막 상에서의 표면 입자크기 및 표면 거칠기를 향상시켜 캐리어 이동도 특성 및 광산란 효과를 개선할 수 있는 박막 성장방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 성장방법은 기판 상에 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들의 핵이 형성되는 제 1 단계와, 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 1 결정 성장방향을 갖는 제 1 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 1 결정입자들로 이루어진 제 1 집합조직을 형성하는 제 2 단계 및 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 2 결정 성장방향을 갖는 제 2 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 2 결정입자들로 이루어진 제 2 집합조직을 형성하는 제 3 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 집합조직을 구성하는 제 2 결정입자 각각의 표면 면적은 상기 제 1 집합조직을 구성하는 제 1 결정입자 각각의 표면 면적보다 큰 것을 특징으로 한다. 우선성장, 선택성장, 성장방향제어 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/20 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020080061513 (2008.06.27) |
| 출원인 | 한국과학기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0960595-0000 (2010.05.24) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0001559 (2010.01.06) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20100607) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.06.27) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 백영준 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
| 2 | 김원목 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
| 3 | 이경석 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
| 4 | 박종극 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 5 | 정증현 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 6 | 이수연 | 대한민국 | 경기도 용인시 수지구 |
| 7 | 이택성 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김 순 영 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩) |
| 2 | 김영철 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.06.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0464178-46 |
| 2 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.11.18 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2008-0795172-47 |
| 3 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2008.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0128544-55 |
| 4 | [반려요청]서류반려요청(반환신청)서 [Request for Return] Request for Return of Document |
2008.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0813882-68 |
| 5 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2008.12.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0130810-09 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
| 7 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.02.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 8 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0017160-75 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.05.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0202933-39 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판 상에 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들의 핵이 형성되는 제 1 단계; 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 1 결정 성장방향을 갖는 제 1 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 1 결정입자들로 이루어진 제 1 집합조직을 형성하는 제 2 단계; 및 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 2 결정 성장방향을 갖는 제 2 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 2 결정입자들로 이루어진 제 2 집합조직을 형성하는 제 3 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 집합조직을 구성하는 제 2 결정입자 각각의 표면 면적은 상기 제 1 집합조직을 구성하는 제 1 결정입자 각각의 표면 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 제 1 결정입자들 및 제 2 결정입자들의 우선 성장 전, 상기 제 2 결정입자들 사이의 간격은 상기 제 1 결정입자들 사이의 간격보다 큰 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 결정 성장방향에서 상기 제 2 결정 성장방향으로의 결정 성장방향의 변화는 열역학적 공정 조건의 변화를 통해 유도되는 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서, 상기 열역학적 공정 조건은 온도, 압력, 이종원소의 첨가 중 적어도 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 단계 내지 제 3 단계는 화학적기상증착 공정으로 진행되는 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 박막은 ZnO 박막인 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 7 |
7 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 결정 성장방향과 제 2 결정 성장방향은 서로 다르며, 003c#0002003e# 방향과 003c#1120003e# 방향 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막 성장방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US08247031 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20090324824 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2009324824 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US8247031 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0960595-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080627 출원 번호 : 1020080061513 공고 연월일 : 20100607 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100514 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 박막 성장방법 존속기간(예정)만료일 : 20150525 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2010년 05월 25일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2013년 04월 30일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2014년 05월 07일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.06.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0464178-46 |
| 2 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.11.18 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2008-0795172-47 |
| 3 | 서류반려이유통지서 | 2008.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0128544-55 |
| 4 | [반려요청]서류반려요청(반환신청)서 | 2008.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0813882-68 |
| 5 | 서류반려통지서 | 2008.12.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0130810-09 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
| 7 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.02.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 8 | 선행기술조사보고서 | 2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0017160-75 |
| 9 | 등록결정서 | 2010.05.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0202933-39 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
| 기술번호 | KST2014028214 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술연구원 |
| 기술명 | 박막 성장방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 박막 상에서의 표면 입자크기 및 표면 거칠기를 향상시켜 캐리어 이동도 특성 및 광산란 효과를 개선할 수 있는 박막 성장방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 성장방법은 기판 상에 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들의 핵이 형성되는 제 1 단계와, 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 1 결정 성장방향을 갖는 제 1 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 1 결정입자들로 이루어진 제 1 집합조직을 형성하는 제 2 단계 및 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 2 결정 성장방향을 갖는 제 2 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 2 결정입자들로 이루어진 제 2 집합조직을 형성하는 제 3 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 집합조직을 구성하는 제 2 결정입자 각각의 표면 면적은 상기 제 1 집합조직을 구성하는 제 1 결정입자 각각의 표면 면적보다 큰 것을 특징으로 한다. 우선성장, 선택성장, 성장방향제어 |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 전기 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이선스 |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345085077 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2E20580 |
| 연구과제명 | 나노계면제어기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200601~200812 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345097765 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2E20980 |
| 연구과제명 | 고효율유무기박막태양전지개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 기초기술연구회 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200601~200912 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
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