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복층 구조를 가진 마이크로 렌즈 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014029081
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 복층 구조를 가진 마이크로 렌즈의 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, ⒜ 제1 마이크로 렌즈 마스터를 제작함에 기반하여 제1 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 제1 몰드(Mold)를 형성하는 단계; ⒝ 제2 마이크로 렌즈 마스터를 제작함에 기반하여 상기 제1 마이크로 렌즈의 표면 위에 제2 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 제2 몰드(Mold)를 형성하는 단계; 및 ⒞ 상기 제1 몰드(Mold)에 기반하여 제1 소정의 직경을 갖는 제1 마이크로 렌즈를 소프트 리소그래피(Soft Lithography) 공정을 통해 형성하고, 상기 제2 몰드(Mold)에 기반하여 상기 형성된 제1 마이크로 렌즈의 표면 위에 제2 소정의 직경을 갖도록 형성되는 제2 마이크로 렌즈를 소프트 리소그래피(Soft Lithography) 공정을 통해 형성하는 단계; 를 포함한다.따라서, 본 발명에 의하면, 종래에 비해 마이크로 렌즈를 통해 투과한 광원의 집광성이 향상되고 또한 광원 투과성이 향상된 마이크로 렌즈를 제공하는 효과가 있으며, 마이크로 렌즈의 보급 및 활용분야 증대에 기여할 수 있는 효과도 있다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) B81B 1/00 (2006.01)
CPC G02B 3/0031(2013.01)G02B 3/0031(2013.01)G02B 3/0031(2013.01)G02B 3/0031(2013.01)
출원번호/일자 1020100016900 (2010.02.25)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1127227-0000 (2012.03.08)
공개번호/일자 10-2011-0097194 (2011.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20120329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세근 대한민국 인천광역시 남구
2 김한형 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 유완식 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, **층 *T 국제특허법률사무소 (역삼동, 여삼빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0122573-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0059701-84
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0436723-69
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0770723-68
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0770725-59
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0116394-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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복층 구조의 마이크로 렌즈를 제조하는 방법에 있어서,⒜ 제1 마이크로 렌즈 마스터를 제작함에 기반하여 제1 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 제1 몰드(Mold)를 형성하는 단계; ⒝ 제2 마이크로 렌즈 마스터를 제작함에 기반하여 상기 제1 마이크로 렌즈의 표면 위에 제2 마이크로 렌즈를 형성하기 위한 제2 몰드(Mold)를 형성하는 단계; 및 ⒞ 상기 제1 몰드(Mold)에 기반하여 제1 소정의 직경을 갖는 제1 마이크로 렌즈를 소프트 리소그래피(Soft Lithography) 공정을 통해 형성하고, 상기 제2 몰드(Mold)에 기반하여 상기 형성된 제1 마이크로 렌즈의 표면 위에 제2 소정의 직경을 갖도록 형성되는 제2 마이크로 렌즈를 소프트 리소그래피(Soft Lithography) 공정을 통해 형성하는 단계; 를 포함하되,상기 ⒝ 단계는,(b-1) 제1 소정의 기판 위에 플라즈마 에칭(Plasma Etching) 공정을 통해 소정의 패턴이 형성된 제2 마이크로 렌즈 마스터를 제작하는 단계;(b-2) 제2 소정의 기판 위에 포토레지스트(Photoresist)를 코팅하여 제1층을 형성하고, 상기 형성된 제1층 위에 기 설정된 공정조건에 기반하여 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 스핀 코팅(Spin Coating)하여 제2층을 형성함으로써 제2 몰드(Mold)를 형성하기 위한 기판을 제작하는 단계;(b-3) 상기 제2 마이크로 렌즈 마스터의 패턴을 기 설정된 온도 및 압력에 따라 상기 제2 몰드(Mold)를 형성하기 위한 기판 위에 형성된 상기 제2층에 전사하는 단계; 및(b-4) 상기 제2 몰드(Mold)를 형성하기 위한 기판에서 상기 제1층을 제거하여 상기 제2 마이크로 렌즈 마스터의 패턴이 전사된 제2층을 분리함으로써 상기 제2 몰드(Mold)를 형성하는 단계; 를 포함하는 복층 구조의 마이크로 렌즈를 제조하는 방법
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제1 소정의 기판은, Al2O3로 제작된 것을 특징으로 하는 복층 구조의 마이크로 렌즈를 제조하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 소정의 직경은, 45 ㎛ 내지 55 ㎛인 것을 특징으로 하는 복층 구조의 마이크로 렌즈를 제조하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제2 소정의 직경은, 2 ㎛ 내지 4 ㎛인 것을 특징으로 하는 복층 구조의 마이크로 렌즈를 제조하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.