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마이크로 체크 밸브 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014061954
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 밸브 시트와 밸브 오리피스의 접착을 방지하여 작동 신뢰성을 향상시키는 마이크로 체크 밸브 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 유체가 공급되는 유체 도입 채널; 상기 유체 도입 채널과 연통된 유체 수용 채널; 상기 유체 수용 채널의 중앙부에 구비된 밸브 시트; 및 상기 밸브 시트의 상부에 접촉하는 밸브 오리피스를 포함하고, 상기 밸브 시트의 상면에는 상기 밸브 오리피스의 접착을 방지하는 접착 방지층이 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브를 제공한다.
Int. CL A61M 39/24 (2006.01) A61M 1/00 (2006.01)
CPC F16K 99/0001(2013.01) F16K 99/0001(2013.01) F16K 99/0001(2013.01) F16K 99/0001(2013.01) F16K 99/0001(2013.01)
출원번호/일자 1020100122251 (2010.12.02)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1219443-0000 (2013.01.02)
공개번호/일자 10-2012-0060647 (2012.06.12) 문서열기
공고번호/일자 (20130111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 광주광역시 북구
2 임성민 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 중평빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0796051-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.09.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0084090-61
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0439094-08
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0654638-21
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0654639-77
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0794409-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유체가 공급되어 수용되는 유체 수용 채널;상기 유체 수용 채널의 중앙부에 구비된 밸브 시트; 및상기 밸브 시트의 상부에 접촉하는 밸브 오리피스를 포함하고, 상기 밸브 시트의 상면에는 상기 밸브 오리피스의 접착을 방지하는 접착 방지층이 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 유체 수용 채널로 상기 유체를 공급하는 유체 도입 채널이 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 유체 도입 채널과, 상기 유체 수용 채널, 및 상기 밸브 시트는 하부 부재에 구비되고, 상기 밸브 오리피스는 상기 하부 부재의 상부에 구비되는 얇은 막 형태의 상부 부재에 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 하부 부재와 상기 상부 부재는 PDMS 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브 오리피스의 상부에는 판 형상의 밸브 커버가 구비되고, 상기 밸브 커버의 하부에는 상기 밸브 커버를 상기 밸브 오리피스로부터 이격시키기 위한 포스트가 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브
6 6
유체가 공급되는 유체 도입 채널, 상기 유체 도입 채널과 연통된 유체 수용 채널, 상기 유체 수용 채널의 중앙부에 구비된 밸브 시트가 형성된 하부 부재와, 상기 밸브 시트의 상부에 접촉하는 밸브 오리피스가 형성된 상부 부재를 포함하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법에 있어서, PDMS를 성형하여 상기 유체 도입 채널, 상기 유체 수용 채널 및 상기 밸브 시트를 형성하고, 상기 밸브 시트의 상부에 새도우 마스크를 정렬시킨 후 크롬과 금을 순차적으로 적층시켜 접착 방지층을 형성함으로써 상기 하부 부재를 제조하는 단계;돌출부가 형성된 PDMS 레플리카의 상부면에 대하여 접착성 감소를 위한 표면처리를 한 후, 상기 PDMS 레플리카의 상기 돌출부가 제 2 보조기판과 접하도록 위치한 상태에서 상기 PDMS 레플리카와 상기 제 2 보조기판 사이의 공간에 PDMS 용액을 주입하여 큐어링함으로써 상기 밸브 오리피스를 구비한 상기 상부 부재를 제조하는 단계; 및상기 하부 부재와 상기 상부 부재를 결합하는 단계를 포함하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 표면 처리는 상기 PDMS 레플리카의 상부면을 플라즈마 처리하거나 소수성 처리한 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법
8 8
유체가 공급되는 유체 도입 채널, 상기 유체 도입 채널과 연통된 유체 수용 채널, 상기 유체 수용 채널의 중앙부에 구비된 밸브 시트가 형성된 하부 부재와, 상기 밸브 시트의 상부에 접촉하는 밸브 오리피스가 형성된 상부 부재를 포함하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법에 있어서, PDMS를 성형하여 상기 유체 도입 채널, 상기 유체 수용 채널 및 상기 밸브 시트를 형성하고, 상기 밸브 시트의 상부에 새도우 마스크를 정렬시킨 후 크롬과 금을 순차적으로 적층시켜 접착 방지층을 형성함으로써 상기 하부 부재를 제조하는 단계;상기 밸브 오리피스에 대응하는 포토레지스트 돌출부를 실리콘 기판 또는 유리 기판에 형성한 후, 접착성 감소를 위한 표면처리를 한 PDMS 평판이 상기 포토레지스트 돌출부에 접하면서 상기 실리콘 기판 또는 유리 기판에 평행하도록 위치시킨 상태에서, 상기 실리콘 기판 또는 유리 기판과 상기 PDMS 평판 사이의 공간에 PDMS 용액을 주입하여 큐어링함으로써 상기 밸브 오리피스를 구비한 상기 상부 부재를 제조하는 단계; 및상기 하부 부재와 상기 상부 부재를 결합하는 단계를 포함하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법
9 9
제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 다수의 포스트가 형성된 밸브 커버를 제조하는 단계; 및상기 밸브 커버를 상기 상부 부재의 상부에 결합하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크 밸브의 제조 방법
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패밀리정보가 없습니다
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1 교육과학기술부 광주과학기술원 기초과학연구지원 나노바이오 재료 및 전자공학 사업단