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에너지 밴드가 제어된 양자우물 구조 및 이를 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2014061989
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 밴드 갭이 조절된 양자우물 구조 및 이의 형성방법이 개시된다. 상층부의 장벽층보다 작은 열팽창 계수를 가지는 물질을 도입하고, 열 에너지를 인가하여 장벽층에 압축 응력을 인가한다. 압축 응력에 의해 장벽층과 우물층 사이에는 원자의 이동이 발생되는 인터믹싱 현상이 일어난다. 인터믹싱에 의해 우물층의 밴드갭은 증가한다. 특히, 장벽층에 압축 응력을 작용하는 유전박막층의 두께가 증가할수록 압축 응력은 커지는 경향을 가진다. 이를 통해 우물층은 하나의 층에서 다양한 파장의 광을 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 33/04 (2014.01) H01L 33/06 (2014.01)
CPC H01L 33/06(2013.01) H01L 33/06(2013.01) H01L 33/06(2013.01) H01L 33/06(2013.01)
출원번호/일자 1020110031363 (2011.04.05)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1238672-0000 (2013.02.25)
공개번호/일자 10-2012-0113586 (2012.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (20130304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.05)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍석 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0247791-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2012-0027956-59
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0429559-47
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0772615-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0835544-84
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0835521-34
9 등록결정서
Decision to grant
2013.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0115320-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
화합물 반도체로 구성된 제1 장벽층;상기 제1 장벽층 상에 형성되고, 상기 제1 장벽층보다 좁은 밴드갭을 가지는 우물층; 및상기 우물층 상에 형성되고, 상기 우물층과의 원자들 사이의 인터믹싱을 통해 상기 우물층의 밴드갭의 편이를 유도하기 위한 제2 장벽층을 포함하고,상기 인터믹싱을 통해 상기 제2 장벽층에서 압축응력에 따른 변형력에 의해 상기 제2 장벽층을 구성하는 원자가 상기 우물층으로 이동하거나, 상기 우물층의 원자가 상기 제2 장벽층으로 이동하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 우물층은 하나의 층에 적어도 2개의 상이한 밴드갭을 가지는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조
4 4
제1항에 있어서, 상기 제2 장벽층의 상부에는 상기 제2 장벽층보다 작은 열팽창 계수를 가지는 유전박막층이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조
5 5
제4항에 있어서, 상기 유전박막층은 제1 두께 및 상기 제1 두께보다 큰 제2 두께의 단차를 가지는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조
6 6
제5항에 있어서, 상기 우물층은 상기 제1 두께 하부의 제1 영역 및 상기 제2 두께 하부의 제2 영역을 포함하고, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역에 비해 더 넓은 밴드갭을 가지는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조
7 7
제1 장벽층을 형성하는 단계;상기 제1 장벽층 상에 상기 제1 장벽층보다 좁은 밴드갭을 가지는 우물층을 형성하는 단계;상기 우물층 상에 상기 우물층보다 넓은 밴드갭을 가지는 제2 장벽층을 형성하는 단계; 및상기 제2 장벽층에 압축응력을 인가하여 상기 우물층의 밴드갭을 증가시키는 단계를 포함하는 양자우물 구조의 형성방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 우물층의 밴드갭을 증가시키는 단계는,상기 제2 장벽층 상에 상기 제2 장벽층보다 낮은 열팽창 계수를 가지는 유전박막층을 형성하는 단계; 및상기 유전박막층이 형성된 상기 양자우물 구조에 열 에너지를 인가하여 상기 제2 장벽층에 압축응력을 인가하고, 상기 압축응력에 따라 상기 제2 장벽층과 상기 우물층의 원자의 이동인 인터믹싱을 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조의 형성방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 열 에너지의 인가는 급속 열처리에 의해 달성되는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조의 형성방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 유전박막층을 형성하는 단계는, 제1 두께 및 상기 제1 두께보다 큰 제2 두께를 가지는 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조의 형성방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 광주과학기술원 기본연구지원사업 양자점의선택적에너지밴드제어(1/3)