| 1 |
1
기판 상에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 형성된 소스 및 드레인 전극;상기 소스 및 드레인 전극 사이의 채널 영역을 포함하고, 여기서, 상기 채널 영역은 항원-항체 반응을 감지하는 액티브 폴리머 및 친수성 나노 입자를 이용하여 형성된 액티브층을 포함하는 트랜지스터 구조의 바이오 센서
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 항원-항체 반응을 감지하는 액티브 폴리머는 반도체 특성을 나타내는 전도성 주쇄와 타겟 물질과 특이적으로 결합하는 압타머 또는 라벨로 치환된 측쇄를 갖는 것인 트랜지스터 구조의 바이오 센서
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 액티브 폴리머의 전도성 주쇄로는 폴리(3-헥실티오펜)(P3HT), 폴리(9,9-디옥틸플루오렌-코-비티오펜)(F8T2) 또는 폴리(3,3''-디도데실-쿼터티오펜)(PQT-12)이고, 상기 측쇄는 바이오틴인 트랜지스터 구조의 바이오 센서
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 친수성 나노 입자로는 알루미나(Al2O3), 질화 알루미늄(AlN), 산화 실리콘(SiO2) 또는 산화 보론(B2O3)의 나노 입자에, 양이온 계면활성제와 친수성 폴리머가 조합된 것을 특징으로 하는 트랜지스터 구조의 바이오 센서
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 액티브층은 액티브 폴리머가 친수성 나노 입자 사이를 채우면서 둘러싸는 구조인 바이오 센서
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 액티브층은 액티브 폴리머층 위에 친수성 나노 입자층이 형성되어 있는 구조인 바이오 센서
|
| 7 |
7
기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 상에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스 및 드레인 전극 사이의 채널 영역에 직접인쇄기술을 이용하여 항원-항체 반응을 감지하는 액티브 폴리머와 친수성 나노 입자로 액티브층을 형성하는 단계를 포함하는 트랜지스터 구조의 바이오 센서의 제조방법
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서, 상기 채널 영역에 액티브층을 형성하는 단계는ⅰ) 친수성 나노 입자를 포함하는 잉크를 채널 영역 상에 코팅하고 열처리하는 단계; 및ⅱ) 열처리 단계 후에, 액티브 폴리머를 포함하는 잉크를 코팅하고 열처리 하는 단계를 포함하는 트랜지스터 구조의 바이오 센서의 제조방법
|
| 9 |
9
제 7항에 있어서, 상기 채널 영역에 액티브층을 형성하는 단계는ⅰ) 액티브 폴리머를 포함하는 잉크를 채널 영역 상에 코팅하고 열처리 하는 단계; 및ⅱ) 열처리 단계 후에, 친수성 나노 입자를 포함하는 잉크를 코팅하고 열처리하는 단계를 포함하는 트랜지스터 구조의 바이오 센서의 제조방법
|
| 10 |
10
제 7항에 있어서, 상기 채널 영역에 액티브층을 형성하는 단계는친수성 나노 입자와 액티브 폴리머를 모두 포함하는 잉크를 코팅하고 열처리하는 것인 트랜지스터 구조의 바이오 센서의 제조방법
|
| 11 |
11
제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 액티브 폴리머 잉크는 전도성 주쇄와 압타머 또는 라벨로 치환된 측쇄를 갖는 액티브 폴리머를 용매 중에 분산시킨 용액인 트랜지스터 구조의 바이오 센서의 제조방법
|
| 12 |
12
제 8항 또는 제 9항에 있어서
|
| 13 |
13
제 10항에 있어서
|
