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미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015116527
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 소량의 유량만으로도 효율적으로 입자를 검출하는 것이 가능한 경우에 적합하며 저가로 대량생산이 가능하며 소형화가 가능하여 휴대성이 우수하도록, 외부와 차단된 상태로 다단으로 구획되어 유체가 저류 및 이동하는 복수의 유동공간이 형성되는 판형상의 본체와, 유동공간을 서로 연결하며 마이크로 또는 나노 단위로 형성되는 복수의 노즐과, 본체의 맨위 상단 유동공간과 연결되며 외부로부터 유체를 공급하는 유입구와, 본체의 맨아래 하단 유동공간과 연결되며 내부의 유체를 외부로 배출하는 유출구와, 노즐의 출구 부분에 인접하여 각각의 유동공간에 설치되고 노즐로부터 분사되는 유체가 충돌한 다음 유동공간의 다른 부분으로 이동하도록 설치되는 복수의 충돌판을 포함하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법을 제공한다.
Int. CL G01N 1/22 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) B01D 45/12 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC B01D 45/12(2013.01) B01D 45/12(2013.01) B01D 45/12(2013.01) B01D 45/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130069730 (2013.06.18)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1447047-0000 (2014.09.26)
공개번호/일자 10-2013-0086579 (2013.08.02) 문서열기
공고번호/일자 (20141008) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2011-0136125 (2011.12.16)
관련 출원번호 1020110136125
심사청구여부/일자 Y (2013.06.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상수 대한민국 대전 유성구
2 강준상 대한민국 대전 유성구
3 이강수 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2013.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0541729-06
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0639312-37
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1025111-65
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1025116-93
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0189286-94
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0392467-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0392468-67
8 등록결정서
Decision to grant
2014.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0634732-73
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 감광성 고분자를 도포하고,코팅된 감광성 고분자에 대하여 소프트 베이킹을 행하고,다단으로 구획된 복수의 유동공간과 복수의 노즐, 유입구 및 유출구에 대한 패턴을 갖는 마스크를 이용하여 노광을 행하고,현상을 행하여 다단으로 구획된 복수의 유동공간과 상기 유동공간을 연결하는 복수의 노즐, 외부로부터 유체가 유입되는 유입구 및 내부의 유체를 외부로 배출하는 유출구에 해당하는 부분의 감광성 고분자를 제거하고,남아 있는 감광성 고분자에 대하여 하드 베이킹을 행하여 측벽부를 형성하고,측벽부 위에 덮개판을 덮어 상기 기판과 일체로 결합하는 과정을 포함하며,상기 복수의 노즐은 마이크로 또는 나노 단위의 미소채널로 형성하고,상기 유출구와 맨아래 하단 유동공간은 상기 각 노즐보다 단면적의 크기가 큰 유출로를 통하여 서로 연결되도록 형성하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
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삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 복수의 노즐은 맨위 상단 유동공간쪽으로부터 맨아래 하단 유동공간쪽으로 갈수록 각 단계마다 단계적으로 단면적의 크기가 감소하도록 형성하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 덮개판에는 상기 유입구와 연통하는 공급구멍을 형성하고, 상기 기판에는 상기 유출구와 연통하는 배출구멍을 형성하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 덮개판에 상기 유입구와 연통하는 공급구멍 및 상기 유출구와 연통하는 배출구멍을 형성하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
7 7
청구항 1에 있어서,상기 각 노즐의 출구 부분에 인접하여 상기 각각의 유동공간에 충돌판을 상기 측벽부와 동일한 과정으로 형성하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 충돌판은 덮개판에 설치하고,상기 덮개판을 상기 기판과 분리 가능하게 결합시키는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 충돌판을 점성이 있는 액체로 코팅하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101427601 KR 대한민국 FAMILY

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