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후처리 공정 없이 표준 CMOS 공정만으로 제조 가능한 습도센서

  • 기술번호 : KST2015116669
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 후처리 공정없이 표준 CMOS 공정만으로 제조 가능하고 회로의 기생성분에 영향이 적어 회로의 복잡도를 떨어뜨리고 출력이 선형적으로 나타나는 습도센서를 제공하기 위한 것으로서, 표준 CMOS 집적회로의 탑 메탈(top metal)을 전극으로 사용하여 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 전하이동이 습도에 따라 변하는 것을 감지하는 습도 감지부와, 상기 습도 감지부에서 감지되는 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 흐르는 전류를 선형적인 함수형태로 변환하는 로그 컨버터(log converter)를 포함하여 구성되는데 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020130123961 (2013.10.17)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1512695-0000 (2015.04.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성환 대한민국 대전 유성구
2 김규식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0938062-51
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0954449-92
3 보정요구서
Request for Amendment		 2013.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0131408-98
4 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2013.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0976016-41
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.09.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0079508-40
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0809354-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0079983-95
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0079937-05
13 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0182080-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표준 CMOS 집적회로의 탑 메탈(top metal)을 전극으로 사용하여 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 전하이동이 습도에 따라 변하는 것을 감지하는 습도 감지부와,상기 습도 감지부에서 감지되는 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 흐르는 전류를 선형적인 함수형태로 변환하는 로그 컨버터(log converter)와,실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면의 온도에 따라 변하는 표면 저항값(RS) 변화를 검출하고 로그 컨버터에서 출력되는 출력값과 결합하여 출력값을 보상하는 온도 보상부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 습도센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 습도 감지부는 표준 CMOS 공정으로 제작된 집적회로를 통해 실리콘 디옥사이드 상에 탑 메탈을 전극으로 사용하는 적어도 2개 이상의 패드들 각각이 외부에 노출되는 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 습도센서
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 로그 컨버터는입력신호가 순방향 임피던스를 매개로 인가되는 반전입력단, 접지된 비반전입력단 및 출력단을 구비하는 증폭기와, 상기 증폭기의 반전입력단과 상기 증폭기의 출력단사이에 설치된 리미터로 구성되는 것을 특징으로 하는 습도센서
4 4
제 3 항에 있어서,상기 리미터는 제 1 다이오드 또는 상기 증폭기의 반전입력단에 공통 접속된 베이스와 컬렉터가 접속되고, 상기 증폭기의 출력단에 이미터가 접속되어 설치된 pnp형 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 습도센서
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 온도 보상부는 직렬로 연결되어 전류를 일정 수준으로 제한하는 정전류 소자와, 상기 정전류 소자 앞단에 병렬로 연결된 제 2 다이오드로 구성되는 것을 특징으로 하는 습도센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부(미래창조과학부) (재) 스마트 IT 융합 시스템 연구단 글로벌프론티어사업 (다차원 스마트 IT 융합 시스템 연구) 스마트 센서를 위한 통신, 센싱 및 응용 플랫폼 연구
2 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 나노미터 공정에서 고성능 아날로그 신호처리를 위한 시간기반 회로