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표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서(Graphene Gas-Sensor using Surface Acoustic Wave)

  • 기술번호 : KST2016013239
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스를 검출하는 가스센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 센서 소자에 흡착된 가스를 표면 탄성파 소자를 이용하여 탈착시키는 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01) G01N 27/12 (2006.01) H01L 41/39 (2013.01)
CPC G01N 27/4146(2013.01)G01N 27/4146(2013.01)G01N 27/4146(2013.01)G01N 27/4146(2013.01)
출원번호/일자 1020140194802 (2014.12.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0081256 (2016.07.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.31)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임채현 대한민국 서울특별시 관악구
2 강일석 대한민국 대전광역시 서구
3 김희연 대한민국 대전광역시 유성구
4 안치원 대한민국 대전광역시 유성구
5 황욱중 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1283817-09
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002869-44
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0012314-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0388329-06
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0729696-44
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0837682-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0934641-08
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0934620-49
10 등록결정서
Decision to grant		 2016.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0938471-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판의 일면에 구비되어 가스를 흡착 및 탈착하는 감지부;상기 기판의 일면 상에 상기 감지부에 인접 구비되어 상기 감지부에 흡착된 가스의 결합력 보다 강한 에너지를 갖는 표면탄성파를 상기 감지부로 발진하는 탈착부; 를 포함하며,상기 감지부 및 탈착부를 포함하는 단위 센서; 가 복수 개 배치되되,각각의 단위 센서에 구비된 감지부는, 각각 서로 다른 주파수 발진 특성을 갖는 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
2 2
제 1항에 있어서,상기 탈착부는, 상기 감지부의 일측 및 타측에 각각 한 쌍이 배치되는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서,상기 탈착부는 표면탄성파 소자로 이루어지며, 상기 표면탄성파 소자의 주파수 발진 특성은, 소자의 전극 너비 및 상기 전극 간의 폭을 통해 결정되는 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
5 5
제 1항에 있어서,상기 기판은,무기물 압전 벌크 소재이거나 또는 수지 재질에 압전 소재를 박막 코팅하여 이루어진 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
6 6
제 1항에 있어서,상기 감지부는, 단원자층 그래핀 또는 다층 그래핀 필름으로 이루어지며,상기 기판의 일면에 전사하여 형성되되,필요 시 상기 전사 공정의 전 또는 후에 패터닝으로 형상이 형성된 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
7 7
제 1항에 있어서,상기 감지부는,진공 여과법을 통한 그래핀 플레이크 네트워크 필름으로 이루어지며,상기 기판의 일면에 전사하여 형성되되, 필요 시 상기 전사 공정의 후에 패터닝으로 형상이 형성된 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
8 8
제 1항에 있어서,상기 감지부는,진공 여과법을 통한 그래핀 플레이크 네트워크 필름으로 이루어지며,상기 진공 여과법 시 패턴이 형성된 여과필름을 통해 패턴을 갖는 그래핀 플레이크 네트워크 필름으로 제작한 후 상기 패턴을 갖는 그래핀 플레이크 네트워크 필름을 기판의 상면에 전사하여 형성된 것을 특징으로 하는, 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 나노종합기술원 나노소재기술개발사업 Si 기반 나노융합 공정 플랫폼 기술 개발