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2층 구조를 갖는 YMnO3 박막 및 2층 구조의 YMnO3박막형성방법

  • 기술번호 : KST2015117578
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 2층 구조를 갖는 YMnO3 박막 및 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법에 관한 것으로 강유전 YMnO3 박막을 급속열처리를 함으로써 c-축 배향층과 다결정층의 2층 구조를 갖는 YMnO3 박막 및 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법에 관한 것이다.본 발명의 강유전 YMnO3 박막을 급속 열처리하여 c-축 배향층과 다결정층을 갖는 2층 구조의 YMnO3 박막은 누설전류나 메모리 창 특성이 우수하여 종래 YMnO3 박막과 Si 기판 사이에 첨가한 층간 절연막을 사용하지 않아 공정을 간소화할 수 있으며, 박막 자체의 구조를 변화시킴으로써 누설전류 특성과 메모리창 효과를 향상시킬 수 있어 YMnO3 박막과 비슷한 물성의 다른 박막의 제작에도 적용시킬 수 있다.
Int. CL H01L 27/105 (2006.01)
CPC H01L 21/02194(2013.01) H01L 21/02194(2013.01) H01L 21/02194(2013.01)
출원번호/일자 1020020008819 (2002.02.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2003-0069306 (2003.08.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.02.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정용 대한민국 대전광역시유성구
2 유동철 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-0049296-39
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)
2002.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2002-5044810-86
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0037200-68
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2004.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0132320-43
7 의견서
Written Opinion
2004.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0185031-84
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0185030-38
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2004.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0395150-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

c-축 배향층 및 다결정 층의 2층 구조를 갖는 YMnO3 박막

2 2

제 1항에 있어서, YMnO3 박막의 두께는 100∼200nm 임을 특징으로 하는 2층 구조를 갖는 YMnO3 박막

3 3

공지의 비정질 YMnO3 박막을 형성함에 있어서, 급속열처리를 하는 단계를 포함하여 2층 구조의 YMnO3 박막을 형성함을 특징으로 하는 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법

4 4

제 3항에 있어서, 급속열처리는 진공 또는 비활성기체 분위기에서 700∼900℃, 3분 이내로 실시함을 특징으로 하는 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법

5 5

제 3항에 있어서, YMnO3 박막의 두께는 100∼200nm 임을 특징으로 하는 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법

6 6

제 3항에 있어서, YMnO3 박막의 2층은 c-축 배향층 및 다결정 층 임을 특징으로 하는 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법

7 7

제 4항에 있어서, 비활성기체는 질소 또는 아르곤 임을 특징으로 하는 2층 구조의 YMnO3 박막 형성방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.