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원자력힘 현미경 리소그래피와 수열합성법을 이용한강유전체 셀의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015118442
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 외부 식각에 의한 손상이 없는 자기조립을 통하여 강유전체 셀을 2차원으로 배열하여 제조하는 방법에 관한 것으로서, 강염기 용액 처리된 기판 상에 원자력힘 현미경(Atomic Force Microscope,AFM)을 이용하여 전기장을 인가하고, 강유전체 셀이 생성될 핵 생성 장소를 패터닝 한 후, 기판을 상전이 온도보다 낮은 온도에서 강유전체를 형성시키는 수열합성법을 진행시켜 강유전체 셀이 핵생성 장소가 패턴된 자리에서 자기조립되어 형성되는 단계를 포함한다. 강유전체 셀, 원자력힘 현미경, 상전이 온도, 수열합성법, 자기조립
Int. CL H01L 27/105 (2006.01)
CPC H01L 29/6684(2013.01) H01L 29/6684(2013.01) H01L 29/6684(2013.01) H01L 29/6684(2013.01)
출원번호/일자 1020060128966 (2006.12.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0850647-0000 (2008.07.31)
공개번호/일자 10-2008-0055520 (2008.06.19) 문서열기
공고번호/일자 (20080807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.15)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최시경 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0932190-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0032880-33
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0542361-15
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0886772-09
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0897536-98
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0022169-91
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0048431-57
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0048430-12
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2008.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0265333-17
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.05.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0373399-17
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0373400-87
13 등록결정서
Decision to grant
2008.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0389841-63
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 국부 전기장을 가해 패턴된 돌출부를 형성하는 단계;상기 돌출부를 식각하여 핵 생성부를 형성하는 단계; 및상기 핵 생성부에서 수열합성법에 의해 자기조립 방식으로 강유전체 셀이 형성되는 단계를 포함하는 강유전체 셀의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은 0
3 3
제 2항에 있어서, 상기 강염기 용액은 수산화칼륨(KOH) 또는 수산화나트륨(NaOH)인 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 전기장은 원자력힘 현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 팁을 이용하여 가해지는 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
5 5
제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 전기장은 -28V 내지 -30V 인 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 핵 생성부는 상기 기판의 표면보다 1nm 내지 3nm의 깊이로 함몰된 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 핵 생성부는 상기 패턴된 기판을 강산 용액에 20 내지 30분간 침지하여 형성하는 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 강산 용액은 30% 내지 40%의 염산(HCl), 10% 내지 20%의 불산(HF)으로 구성된 그룹에서 선택되는 1종 이상의 용액인 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 1항에 있어서, 상기 수열합성은 강유전체 생성용 전구화합물 및 강염기 용액을 포함하는 반응액에 상기 기판을 침지한 후 상기 강유전체의 상전이 온도보다 낮은 온도에서 30분 내지 90분 동안 반응시키는 것을 특징으로 하는 강유전체 셀의 제조방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 반응액은 Pb(NO3)2 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.