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다이아몬드박막의집합조직방향조절방법

  • 기술번호 : KST2015119946
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기상으로부터 합성된 다이아몬드의 성장시 빠른 성장속도를 갖는 입자의 결정방향을 조절하여 다이아몬드의 집합조직(texture) 방향과 박막의 표면을 구성하는 성장면(facet)의 종류를 조절하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기상합성방법을 이용하여 다이아몬드 박막을 형성함에 있어서 증착온도 750℃에서 l100℃의 범위에서 수소와 탄화수소의 혼합기체에 산소를 소량 첨가하여 빠른 성장속도를 갖는 다이아몬드 입자의 결정방향을 조절하여 집합조직의 방향과 박막표면 성장면의 종류를 변화시키도록 구성된다. 본 발명은 다이아몬드의 박막에서 잔류응력, 내마모성, 열전도성, 전자특성등의 여러특성에 영향을 미치는 집합조직의 방향과 성장면의 종류를 임의로 변화시킬 수 있다는 이점이 있다.
Int. CL C30B 29/04 (2006.01) C01B 31/06 (2006.01)
CPC C23C 16/277(2013.01) C23C 16/277(2013.01)
출원번호/일자 1019920022104 (1992.11.23)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0102147-0000 (1996.07.16)
공개번호/일자 10-1994-0011350 (1994.06.21) 문서열기
공고번호/일자 1019960005506 (19960425) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1992.11.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백영준 대한민국 서울특별시노원구
2 은광용 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1992.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120537-89
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120538-24
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1992.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120539-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1995.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0039582-37
5 의견서
Written Opinion		 1995.10.30 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120540-16
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1995.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0039583-83
7 의견서
Written Opinion		 1996.01.29 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120542-18
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.01.29 수리 (Accepted) 1-1-1992-0120541-62
9 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0039584-28
10 등록사정서
Decision to grant		 1996.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0039585-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있어 산소의 첨가량을 증가시켜 다이아몬드 입자를 구성하는 (111)면과 (100)면에서의 흡착정도를 변화시킴으로써 집합조직의 방향을 <100>에서 <1110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 집합조직 방향 조절방법

2 2

기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있어 일정한 혼합기체의 조성하에서 기판의 온도를 700℃에서 900℃까지 연속적으로 증가시켜 다이아몬드표면의 격자 재구성 정도의 상대값을 변화시킴으로써 집합조직의 방향을 <100>에서 <110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 집합조직 방향 조절방법

3 3

기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있엇 수소에 혼합된 메탄의 양을 줄여주어 다이아몬드 입자를 구성하는 (111)면과 9100)면에서의 흡착정도를 변화시킴으로서 집합조직의 방향을 <100>에서 <110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 집합조직 방향 조절방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.