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다중 센서 자동 측정 시스템

  • 기술번호 : KST2015123770
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 센서 지지판의 상부에 안착되는 다중 센서 및 상기 다중 센서에 접촉하여 전기적 특성을 측정하는 복수의 프로브를 포함하는 다중 센서용 프로브 스테이션에 적용되는 다중 센서 자동 측정 시스템에 관한 것으로, 프로브를 통해 검지를 위한 전압을 공급하는 전압 공급부, 전압이 인가된 개별 프로브나 개별 센서의 전류 또는 저항을 측정하는 전류 및 저항 측정부, 다중 센서로 전압을 공급할 때, 또는 다중 센서로부터 측정 신호를 수신할 때 개별 센서 또는 개별 프로브의 단자를 스위칭하는 릴레이부, 개별 센서로의 전압 공급이 끊기지 않는 상태에서 개별 센서에 대한 전류를 측정하도록, 여러 개별 센서 중에서 검지하고자 하는 센서를 선택하는 멀티플렉서부 및, 사용자의 입력을 받아들여 전압 공급부, 전류 및 전압 측정부, 릴레이부 및, 멀티플렉서부를 제어하거나, 또는 프로브 스테이션의 조절 장치를 제어하는 제어부를 구비한다.
Int. CL G01N 27/416 (2006.01) G01N 27/414 (2006.01)
CPC G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01)
출원번호/일자 1020110043627 (2011.05.09)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1331202-0000 (2013.11.11)
공개번호/일자 10-2012-0125895 (2012.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20131118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.09)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전영민 대한민국 서울특별시 강남구
2 장지웅 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 변영태 대한민국 경기도 구리시
4 우덕하 대한민국 서울특별시 서대문구
5 이석 대한민국 서울특별시 서초구
6 김선호 대한민국 서울특별시 종로구
7 김신근 대한민국 서울특별시 마포구
8 김재헌 대한민국 부산광역시 진구
9 이택진 대한민국 서울특별시 양천구
10 박민철 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정태훈 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
2 진수정 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
3 배성호 대한민국 경상북도 경산시 박물관로*길**, ***호(사동, 태화타워팰리스)(특허법인 티앤아이(경상북도분사무소))
4 오용수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0343166-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.07.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0070010-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0603122-47
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-1019998-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0010164-00
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0010165-45
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2013.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0361229-58
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.07.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0648260-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0648259-79
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0766629-40
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
센서 지지판의 상부에 안착되는 다중 센서 및 상기 다중 센서에 접촉하여 전기적 특성을 측정하는 복수의 프로브를 포함하는 다중 센서용 프로브 스테이션에 적용되는 다중 센서 자동 측정 시스템에 있어서, 상기 프로브를 통해 검지를 위한 전압을 공급하는 전압 공급부;개별 프로브나 개별 센서의 전류 또는 저항을 측정하는 전류 및 저항 측정부;상기 다중 센서로 전압을 공급할 때, 또는 상기 다중 센서로부터 측정 신호를 수신할 때 개별 센서 또는 개별 프로브의 단자를 스위칭하는 릴레이부;개별 센서로의 전압 공급이 끊기지 않는 상태에서 개별 센서에 대한 전류를 측정하도록, 여러 개별 센서 중에서 검지하고자 하는 센서를 선택하는 멀티플렉서부 및;사용자의 입력을 받아들여 상기 전압 공급부, 상기 전류 및 저항 측정부, 상기 릴레이부 및, 상기 멀티플렉서부를 제어하거나, 또는 상기 프로브 스테이션의 조절 장치를 제어하는 제어부를 구비하되, 상기 프로브 스테이션의 조절 장치는 프로브척 고정 암 조절장치, 센서 운반 암 조절장치 및, 클리닝 패드 운반 암 조절장치를 포함하고, 상기 제어부는 상기 프로브척 고정 암 조절장치를 제어하여 프로브 척 고정 암을 수직 하방 이동시켜 상기 프로브를 상기 센서 지지판에 접촉시키고, 상기 전류 및 저항 측정부는 상기 프로브의 저항을 측정함으로써 불량 유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
2 2
제1항에 있어서, 개별 센서 또는 개별 프로브에 전압을 공급하여 전압 변화에 따른 전기적 특성을 측정하고 측정 결과를 그래프 화면에서 분석이 가능한 반도체 변수 분석기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 프로브가 불량으로 판단될 경우, 상기 제어부는 상기 클리닝 패드 운반 암 조절 장치를 제어하여 클리닝 패드로 상기 프로브 끝단을 닦아 낼 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
6 6
제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 센서 운반 암 조절장치를 제어하여 상기 다중 센서를 상기 센서 지지판 위에 안착시키고, 상기 프로브척 고정 암 조절장치를 제어하여 상기 프로브를 상기 다중 센서의 전극패드에 접촉시킨 후, 상기 릴레이부를 제어하여 개별 센서를 선택함으로써 상기 전류 및 저항 측정부에 의해 센서를 검사하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
7 7
제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 센서 운반 암 조절장치를 제어하여 상기 다중 센서를 상기 센서 지지판 위에 안착시키고, 상기 프로브척 고정 암 조절장치를 제어하여 상기 프로브를 상기 다중 센서의 전극패드에 접촉시킨 후, 상기 릴레이부와 상기 멀티플렉서부를 제어하여 개별 센서를 선택함으로써 상기 전압 공급부 및 전류 및 저항 측정부에 의해 센서의 전기적 특성 측정 및 센서에 인가된 물질을 검지하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
8 8
제1항에 있어서, 상기 다중 센서가 탄소나노튜브(CNT)를 사용한 센서인 경우, 상기 제어부는 상기 다중 센서 중 금속 특성을 갖는 센서를 선택하여 전기적으로 태워 반도체 특성으로 전환시키는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
9 9
제1항에 있어서, 모니터 화면의 일측에 가상 다중 센서가 표시되고, 타측에 검지 결과 창이 배치되어, 사용자가 화면에 보이는 가상 센서 중 하나에 마우스 커서를 올려놓으면, 해당 센서의 위치 및 검지 결과가 표현되는 사용자 인터페이스를 갖는 것을 특징으로 하는 다중 센서 자동 측정 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.