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타겟 회전 방식 온벽 펄스 레이저 증착을 이용한 나노 구조체 합성 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015121934
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 구조체 합성 장치는, 기판 및 타겟 물질이 위치하는 챔버; 상기 챔버 내부에 위치하며, 상기 타겟 물질을 지지하고 회전하는 지지부; 상기 챔버 외부에 위치하며 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 이상이 되도록 상기 챔버를 가열하는 가열기; 및 상기 타겟 물질에 레이저를 조사하여 상기 타겟 물질을 분해함으로써, 분해된 상기 타겟 물질로부터 상기 기판상에 나노 구조체를 형성하는 레이저 발생기를 포함할 수 있다.
Int. CL B01J 19/08 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020110002240 (2011.01.10)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0080815 (2012.07.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.10)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상렬 대한민국 서울특별시 용산구
2 김경원 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0017321-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.10.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0087305-42
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0034601-59
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0380154-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
기판 및 타겟 물질이 위치하는 챔버; 상기 챔버 내부에 위치하며, 상기 타겟 물질을 지지하고 회전하는 지지부; 상기 챔버 외부에 위치하며 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 이상이 되도록 상기 챔버를 가열하는 가열기; 및상기 타겟 물질에 레이저를 조사하여 상기 타겟 물질을 분해함으로써, 분해된 상기 타겟 물질로부터 상기 기판상에 나노 구조체를 형성하는 레이저 발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 합성 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 가열기는 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 내지 1300℃가 되도록 상기 챔버를 가열하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 합성 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 나노 구조체는 나노선, 나노혼, 나노막대, 나노필름 또는 나노쉬트 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 합성 장치
4 4
챔버 내에 기판 및 타겟 물질을 위치시키는 단계; 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 이상이 되도록 상기 챔버를 가열하는 단계; 및 상기 타겟 물질을 회전시키면서 상기 타겟 물질에 레이저를 조사하여 상기 타겟 물질을 분해시키는 단계; 및 분해된 상기 타겟 물질로부터 상기 기판상에 상기 타겟 물질과 동일한 조성을 갖는 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 합성 방법
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제 4항에 있어서, 상기 챔버를 가열하는 단계는, 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 내지 1300℃가 되도록 상기 챔버를 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 합성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.