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토포그래픽 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법 및 이로부터 제조된 고분자 박막

  • 기술번호 : KST2015125397
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 프리패턴(pre-pattern)에 고분자 용액을 스핀코팅한 후, 열처리를 하여 프리패턴의 일정한 패턴 영역 내에서만 디웨팅(dewetting)이 일어나 나노 패턴화가 이루어지는 것으로서, 대면적에 걸쳐 일정한 패턴으로 배향된 나노구조의 고분자 박막을 제조할 수 있는 비-리소그래픽(non-lithographic) 방법 중의 한 가지이다. 디웨팅, 폴리스타이렌, 폴리(4-비닐 피리딘), 나노, 고분자박막, 패터닝
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) G03F 7/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080101969 (2008.10.17)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0042815 (2010.04.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.17)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박철민 대한민국 서울특별시 마포구
2 이근탁 대한민국 서울특별시 영등포구
3 윤보경 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김윤보 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 ** ***호(구로동, 삼성아이티밸리)(특허법인현)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0722811-25
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0852315-51
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0896159-44
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0042022-45
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0561654-71
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.02.07 무효 (Invalidation) 1-1-2011-0083247-11
8 보정요구서
Request for Amendment		 2011.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0012998-10
9 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2011.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0020103-28
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0530770-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프리패터닝(pre-patterning)된 기판에 고분자 박막을 스핀캐스팅하는 단계(I); 및 상기 기판에 증착된 고분자 박막을 열처리하는 단계(II)를 포함하는 것을 특징으로 하는 토포그래픽 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
2 2
제 1 항에서, 상기 기판에 형성된 토포그래픽한 프리패턴은 주기적 라인(periodic line), 메사(mesa) 및 인덴트(indent)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 토포그래픽한 패턴인 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
3 3
제 1 항에서, 상기 단계(II)의 열처리는 상기 고분자의 유리전이온도 이상의 온도에서 실시되는 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에서, 상기 단계(II)의 열처리 시간은 1 시간 이상인 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
5 5
제 1 항에서, 상기 고분자는 폴리스타이렌 또는 폴리(4-비닐 피리딘)인 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
6 6
제 1 항에서, 상기 프리패턴은 자기조립박막(Self Assembled Monolayers, SAMs)으로 표면이 개질된 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
7 7
제 6 항에서, 상기 자기조립박막(Self Assembled Monolayers, SAMs)이 (트리데카플루오로-1,1,2,2-테트라히드로옥틸)트리클로로실란인 것을 특징으로 하는 토포그래픽한 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법
8 8
제 1 항, 제 2 항, 제 3 항, 제 5 항, 제 6 항 또는 제 7 항에 따른 방법으로 제조되어 토포그래픽한 프리패턴 위에 디웨팅이 패턴화를 이루는 것을 특징으로 하는 나노크기로 패턴화된 고분자 박막
9 9
제 8 항에서, 상기 토포그래픽한 프리패턴은 주기적 라인(periodic line), 메사(mesa) 및 인덴트(indent)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 토포그래픽한 패턴인 것을 특징으로 하는 나노크기로 패턴화된 고분자 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 연세대학교 산학협력단 우수연구센터(SRCERC) ERC 패턴집적형능동폴리머소재센터 3-1세부