요약 | 본 발명에 따라서 신규의 박막 패터닝 방법이 제공된다. 상기 방법은 입자를 포함하는 박막이 형성된 투명 기판을 제공하는 단계와, 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 입자 박막에 조사하는 단계로서, 상기 공간적 광 변조기는 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 되어 있고, 상기 패턴에 대응하여 상기 펄스 레이저 빔이 통과하여 상기 나노입자 박막에 조사되는 것인, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계와, 상기 입자 박막에 조사되는 펄스 레이저에 의한 패터닝 단계로서, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 입자 박막 부위에 조사된 펄스 레이저 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 입자와 기판 사이의 결합력보다 크게 되어, 상기 레이저가 조사된 입자 박막 부위가 기판으로부터 분리되어, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 입자 박막에 형성되도록 하는 것인, 상기 패터닝 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
---|---|
Int. CL | B82B 1/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01) |
CPC | G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080005244 (2008.01.17) |
출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0920388-0000 (2009.09.29) |
공개번호/일자 | 10-2009-0079341 (2009.07.22) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20091007) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.01.17) |
심사청구항수 | 20 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이명규 | 대한민국 | 서울 송파구 |
2 | 신현권 | 대한민국 | 서울 서대문구 |
3 | 김현준 | 대한민국 | 서울 마포구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김승욱 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소) |
2 | 김영희 | 대한민국 | 서울특별시 용산구 효창원로**길 *, 네오국제특허법률사무소 (효창동) |
3 | 이채형 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.01.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0039432-92 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0062455-24 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0176629-95 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0362158-19 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.06.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0362161-46 |
7 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.09.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0376128-68 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 입자를 포함하는 박막이 형성된 투명 기판을 제공하는 단계와, 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 박막에 조사하는 단계로서, 상기 공간적 광 변조기는 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 되어 있고, 상기 패턴에 대응하여 상기 펄스 레이저 빔이 통과하여 상기 박막에 조사되는 것인, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계와, 상기 박막에 조사되는 펄스 레이저에 의한 패터닝 단계로서, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 박막 부위에 조사된 펄스 레이저 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 입자와 기판 사이의 결합력보다 크게 되어, 상기 레이저가 조사된 박막 부위가 기판으로부터 분리되어, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 박막에 형성되도록 하는 것인, 상기 패터닝 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 박막은 상기 입자를 함유하는 용액을 저온 용액 적층에 의해 상기 기판 상에 형성하는 것인 박막 패터닝 방법 |
3 |
3 청구항 2에 있어서, 상기 입자는 상기 박막 중에 응집된 형태로 존재하는 것인 박막 패터닝 방법 |
4 |
4 청구항 3에 있어서, 상기 입자는 나노입자 또는 마이크로입자인 것인 박막 패터닝 방법 |
5 |
5 청구항 4에 있어서, 상기 입자는 전도성 금속 나노입자 또는 마이크로입자인 것인 박막 패터닝 방법 |
6 |
6 청구항 5에 있어서, 상기 입자는 은(Ag) 또는 금(Au) 나노입자 또는 마이크로입자인 것인 박막 패터닝 방법 |
7 |
7 청구항 4에 있어서, 상기 입자는 상기 펄스 레이저를 흡수할 수 있는 반도체 또는 유전체 나노입자 또는 마이크로입자인 것인 박막 패터닝 방법 |
8 |
8 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계에 앞서, 상기 기판 상에 형성된 박막을 예비-어닐링하는 단계를 더 포함하는 박막 패터닝 방법 |
9 |
9 청구항 8에 있어서, 상기 펄스 레이저는 상기 박막이 형성된 기판의 반대쪽 표면으로부터 상기 기판에 조사되는 것인 박막 패터닝 방법 |
10 |
10 청구항 8에 있어서, 상기 패터닝 단계에 이어서 상기 박막에 대해 본-열처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 박막 패터닝 방법 |
11 |
11 청구항 10에 있어서, 상기 본-열처리는 상기 예비-어닐링 처리보다 더 높은 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
12 |
12 청구항 8에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 방출되는 상기 펄스 레이저는 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단과 상기 공간적 광 변조기 사이에 설치되는 빔 확장기에 의해 확장되어, 넓은 면적에 걸쳐 상기 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
13 |
13 청구항 9에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 방출되는 상기 펄스 레이저는 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단과 상기 공간적 광 변조기 사이에 설치되는 빔 확장기에 의해 확장되어, 넓은 면적에 걸쳐 상기 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
14 |
14 청구항 10에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 방출되는 상기 펄스 레이저는 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단과 상기 공간적 광 변조기 사이에 설치되는 빔 확장기에 의해 확장되어, 넓은 면적에 걸쳐 상기 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
15 |
15 청구항 8에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 수단은 Nd:YAG 펄스 레이저인 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
16 |
16 청구항 8에 있어서, 상기 기판은 광투과성 유리 또는 플라스틱 기판인 것인 박막 패터닝 방법 |
17 |
17 입자를 포함하는 박막이 형성된 투명 기판을 제공하는 단계와, 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 박막에 조사하는 단계로서, 상기 공간적 광 변조기는 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 되어 있고, 상기 패턴에 대응하여 상기 펄스 레이저 빔이 통과하여 상기 박막에 조사되는 것인, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계와, 상기 박막에 조사되는 펄스 레이저에 의한 패터닝 단계로서, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 박막 부위에 조사된 펄스 레이저에 의해 상기 레이저가 조사된 박막 부위가 기판으로부터 분리되도록 하여, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 박막에 형성되도록 하는 것인, 상기 패터닝 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법 |
18 |
18 청구항 17에 있어서, 상기 패터닝 단계에서, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 박막 부위에 조사된 펄스 레이저 에너지에 의해 야기되는 입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 입자와 기판 사이의 결합력보다 크면, 상기 레이저가 조사된 박막 부위가 기판으로부터 분리되어, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 박막에 형성되는 것인 박막 패터닝 방법 |
19 |
19 청구항 17 또는 청구항 18에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계에 앞서, 상기 기판 상에 형성된 박막을 예비-어닐링하는 단계를 더 포함하는 박막 패터닝 방법 |
20 |
20 청구항 19에 있어서, 상기 패터닝 단계에 이어서 상기 박막에 대해 본-열처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 박막 패터닝 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 교육부 | 연세대학교산학협력단 | 기초연구지원기초과학(기초과학1) | AG 나노 입자 배열의 광학적 제어 및 패터닝 |
특허 등록번호 | 10-0920388-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080117 출원 번호 : 1020080005244 공고 연월일 : 20091007 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20090909 청구범위의 항수 : 20 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 무감광 리소그래피에 의한 박막 패터닝 방법 존속기간(예정)만료일 : 20170930 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 412,500 원 | 2009년 09월 29일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2012년 08월 22일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2013년 08월 21일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2014년 08월 06일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 860,000 원 | 2015년 09월 22일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 602,000 원 | 2016년 09월 22일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.01.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0039432-92 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2008.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0062455-24 |
4 | 의견제출통지서 | 2009.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0176629-95 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0362158-19 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.06.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0362161-46 |
7 | 등록결정서 | 2009.09.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0376128-68 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345071141 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2005 |
연구과제명 | 휴먼트로닉스 정보소재 사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
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[KST2015126924][연세대학교] | 완충용액 상에서 생물모방분자 자기조립 구조체 및 금속자성입자를 포함하는 나노 복합구조체의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126227][연세대학교] | 코어/쉘 구조를 갖는 열전 나노와이어의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2016018228][연세대학교] | 블록공중합체 박막의 나노구조체 제조방법 및 안정구조 유지시간 조절(Method For Nano-Structure Of Block Copolymer Thin Film And Control For Period Of Stable-Structure Maintaining) | 새창보기 |
[KST2015210397][연세대학교] | 에이에프엠 캔틸레버와 극초단펄스 전압을 이용한 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125926][연세대학교] | 산화 안정성이 개선된 금속 나노입자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125474][연세대학교] | 금속-탄소나노튜브 복합재 제조 방법 및 그 복합재 | 새창보기 |
[KST2015125306][연세대학교] | 다공성 금속/탄소나노튜브 복합체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126690][연세대학교] | 수소저장용 마그네슘-팔라듐 나노시트 제조방법 및 이로부터 제조된 수소저장용 마그네슘-팔라듐 나노시트 | 새창보기 |
[KST2015125707][연세대학교] | 코팅된 자성 실리카 나노 복합체 및 그의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2016004786][연세대학교] | 발광특성이 향상된 자기조립 나노 구조체와 이의 제조방법 및 이를 포함하는 피롤의 정량적 검출 분석용 센서(SELF-ASSEMBLED NANO STRUCTURE IMPROVING LUMINESCENT PROPERTY, MANUFACTURE METHOD THEREOF, AND SENSOR FOR DETECTING PYRROLE MOLECULE QUANTITATIVELY) | 새창보기 |
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