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탄소나노튜브, 실리카, 바인더 및 용매를 포함하는 전구용액을 제조하는 제 1 단계;
상기 전구용액과 기판 사이에 형성된 전위차에 따라 발생된 정전기적 인력에 의해 상기 전구용액을 기판 상으로 이동시켜 탄소나노튜브와 실리카의 혼합 박막을 형성시키는 제 2 단계;
상기 혼합 박막의 탄소나노튜브 상에 기공 유지제를 코팅하는 제 3 단계; 및
상기 혼합 박막의 실리카를 제거하는 제 4 단계를 포함하고,
상기 제 1 단계는 탄소나노튜브, 실리카, 바인더 및 용매의 혼합물에 초음파를 처리하여 제조하되, 상기 실리카는 10 ~ 100㎚ 크기를 사용하고, 상기 용매는 탄소나노튜브 및 실리카의 밀도보다 낮은 것으로서, 물과 알코올의 혼합물을 사용하여 전구용액을 제조하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 1 단계는
탄소나노튜브를 산 처리하는 단계 a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 단계 a)는
탄소나노튜브를 60 내지 90℃의 강산 수용액에서 처리하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 1 단계는
탄소나노튜브 박막의 기공도의 제어를 위해 탄소나노튜브에 대한 실리카의 함량을 조절하는 단계 b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 단계 b)는
탄소나노튜브와 실리카를 1 : 5 ~ 30의 함량(무게비)으로 조절하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 1 단계는
탄소나노튜브와 실리카를 물에 첨가한 후, 초음파를 조사하는 단계 d-1)와,
상기 단계 d-1)의 용액에 알코올을 혼합하여 교반시키는 단계 d-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서,
바인더는 글리세린, 메틸셀룰로오스, 폴리비닐알코올, 폴리비닐부티랄, 폴리비닐피롤리돈, 폴리비닐리덴플로라이드 및 폴리테트라플루오르에틸렌으로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 2 단계는
전구용액을 분사시킬 수 있는 분사기; 기판을 지지하고, 상기 기판을 대전시킬 수 있는 기판 지지대; 상기 분사기와 기판 지지대에 전위차를 제공하는 전원발생기를 포함하는 분사 장치를 이용하여 전구용액을 기판 상으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 14 항에 있어서,
분사 장치는 기판에 열을 공급할 수 있는 열공급수단; 상기 기판의 온도를 조절하는 온도 조절기; 및 전구용액의 분사량을 제어하는 유량 조절기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항 또는 제 14 항에 있어서,
기판의 온도를 100℃ ~ 200℃로 유지하는 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 3 단계는
기공 유지제가 포함된 용액에 탄소나노튜브와 실리카의 혼합 박막을 함침한 후, 전압을 인가하여 진행하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 17 항에 있어서,
전압의 주사속도는 50mV/s 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항 또는 제 17 항에 있어서,
기공 유지제는 금속, 금속산화물, 전도성 고분자 또는 이들의 혼합인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 19 항에 있어서,
전도성 고분자는 폴리피롤, 폴리비닐피롤리돈, 폴리아닐린, 폴리비닐리덴플로라이드 및 폴리테트라플루오르에틸렌으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 제 4 단계는
산 수용액에 탄소나노튜브와 실리카의 혼합 박막을 함침한 후, 증류수로 세척하여 진행하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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제 21 항에 있어서,
산 수용액은 불산 수용액인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 박막의 제조방법
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